[发明专利]一种精细线路刻蚀液在审

专利信息
申请号: 202011518116.6 申请日: 2020-12-21
公开(公告)号: CN112680732A 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 刘维富 申请(专利权)人: 江西遂川光速电子有限公司
主分类号: C23F1/44 分类号: C23F1/44;C23F1/20;H05K3/06
代理公司: 合肥德驰知识产权代理事务所(普通合伙) 34168 代理人: 刘希慧
地址: 343900 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 精细 线路 刻蚀
【说明书】:

发明公开了一种精细线路刻蚀液,其组分包括30‑40%无机酸性液、20‑30%有机酸液、5‑10%缓冲刻蚀剂(BOE)、3‑10%铝刻蚀剂、5‑10%铜保护剂、2‑5%钼保护剂,该刻蚀液能够在进行刻蚀的同时,有效保护电路板上金属层内的铜、钼等关键性金属物质在刻蚀时免遭损坏,有效提高了电路板刻蚀的合格率。

技术领域

本发明涉及电路板领域,特别是涉及一种精细线路刻蚀液。

背景技术

电路板是当今电子产品中不可缺少的元器件,其在加工过程中需要通过刻蚀在其表面开槽,进行布线。由于蚀刻液对于不同金属材料的蚀刻能力亦有所不同,因此在进行蚀刻的多层金属中,各层金属材料受到蚀刻的程度亦会因金属种类的不同有所差异。在刻蚀过程中,难免造成一些关键性金属损失过多,影响电路板的品质。

发明内容

一种精细线路刻蚀液,所述刻蚀液的组分包括:

无机酸性液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为30-50%;

有机酸液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为20-30%;

缓冲刻蚀剂(BOE),以该蚀刻液组合物总重计,含量为5-20%;铝刻蚀剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为3-20%;

铜保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为5-10%;

钼保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为2-10%。

优选的,所述无机酸性液包括磷酸、氢氟酸、硝酸。

优选的,所述磷酸、氢氟酸、硝酸配比为1:1:3。

优选的,所述有机酸液包括乙醇酸、琥珀酸、甲酸。

优选的,所述乙醇酸、琥珀酸、甲酸配比为2:1:2。

优选的,所述铜保护剂为五水硫酸铜。

优选的,所述钼保护剂为硫酸钼。

有益效果:本发明提供了一种精细线路刻蚀液,其组分包括30-40%无机酸性液、20-30%有机酸液、5-10%缓冲刻蚀剂(BOE)、3-10%铝刻蚀剂、5-10%铜保护剂、2-5%钼保护剂,该刻蚀液能够在进行刻蚀的同时,有效保护电路板上金属层内的铜、钼等关键性金属物质在刻蚀时免遭损坏,有效提高了电路板刻蚀的合格率,所述无机酸性液包括磷酸、氢氟酸、硝酸,所述磷酸、氢氟酸、硝酸配比为1:1:3,该无机酸能够有效起到在基材表面通过腐蚀开槽的目的,所述有机酸液包括乙醇酸、琥珀酸、甲酸,所述乙醇酸、琥珀酸、甲酸配比为2:1:2,该有机酸一方面能够确保刻蚀液的酸性,另一方面能够降低氢氟酸的使用,使得刻蚀液的危害性降低,同时减少废液的产生,所述铜保护剂为五水硫酸铜,该成分中的二价铜离子能够有效保护基材中的金属铜,即通过还原反应将二价铜离子置换为零价铜,所述钼保护剂为硫酸钼,该成分通过通过还原反应有效防止基材中的钼被腐蚀。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。

实施例1:

一种精细线路刻蚀液,所述刻蚀液的组分包括:

无机酸性液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为50%;

有机酸液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为30%;

缓冲刻蚀剂(BOE),以该蚀刻液组合物总重计,含量为5%;铝刻蚀剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为5%;

铜保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为5%;

钼保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为5%。

实施例2:

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