[发明专利]一种Wafer ID烧写防呆的系统

说明书

本发明提供了一种Wafer ID烧写防呆的系统，该系统以现有的MES系统为基础，在该系统内部至少开发订单录入模块、测试访问模块和数据比对模块；其中，订单录入模块用于自动读取并录入客户下单时实物Wafer ID的原始数据信息；测试访问模块用于与测试机实现连通，获取测试机中实时录入的Wafer ID的测试数据：数据比对模块用于将订单录入模块录入的原始数据与测试机中获取的测试数据进行比对，并分析比对结果。本技术方案在测试开始前将输入错误的信息及时比对，并反馈出来改正，避免了录入错误的信息未被发现时，出现烧写入芯片内的Wafer ID错误情况，以及由此引起的晶圆测试数据异常和晶圆损失等质量事故的出现，对芯片测试效率的提升有着深远的意义。

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种Wafer ID烧写防呆的系统。

背景技术

MES(Manufacturing Execution System，生产执行系统) 系统是一套面向制造企业车间执行层的生产信息化管理系统，MES能通过信息传递对从订单下达到产品完成的整个生产过程进行优化管理，当工厂发生实时事件时，MES能对此及时做出反应、报告，并用当前的准确数据对它们进行指导和处理。这种对状态变化的迅速响应使MES能够减少企业内部没有附加值的活动，有效地指导工厂的生产运作过程，从而使其既能提高工厂及时交货能力，改善物料的流通性能，又能提高生产回报率。MES还通过双向的直接通讯在企业内部和整个产品供应链中提供有关产品行为的关键任务信息。因此，MES系统被广泛应用在工业生产的管理平台。

在晶圆测试中，在MES系统中按照常规的标准步骤在来输入Wafer ID（晶圆刻号），过程中很容易发生录入了错误的Wafer ID的情况，这样就会给芯片烧写进错误的Wafer ID信息，并且在测试中很难发现问题，目前的防呆措施（预防矫正的行为约束手段）仅限于在测试完成后，通过获取生成数据的Wafer ID信息与系统内信息比对，虽然也能够发现问题，但是此时测试已经完成，错误的Wafer ID已经烧写进芯片内，并且这个过程是不可逆的，只能安排重测或者报废，可以说这种防呆的作用微乎其微。

因此，基于上述技术，本领域技术人员致力于提供一种基于MES系统的Wafer ID烧写防呆的系统，以解决前述问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种Wafer ID烧写防呆的系统，通过预先录入准确的Wafer ID与实际测试Wafer ID进行比对，判断是否进行烧写操作，避免Wafer ID写入错误，造成晶圆损失等异常事故，以解决背景技术中的问题。

为了解决上述问题，本发明提供了一种Wafer ID烧写防呆的系统，

该方法以现有的MES系统为基础，在该系统内部至少开发：

订单录入模块，其中所述订单录入模块用于自动读取并录入客户下单时实物Wafer ID的原始数据信息；

测试访问模块，所述测试访问模块用于与测试Wafer的测试机连通，以获取所述测试机中实时录入的Wafer ID的测试数据；

数据比对模块，所述数据比对模块用于将订单录入模块录入的原始数据与所述测试机中获取的测试数据进行比对，并形成比对结果；以及

一反馈模块，其中所述反馈模块包括一修改策略生成模块和一执行修改模块，所述反馈模块被设置可通信地连接于所述数据比对模块，当数据比对模块比对结果显示的原始数据与测试数据不一致时，所述反馈模块的所述修改策略生成模块根据比对的结果和一阈值，以从所述订单录入模块获取的与所述测试数据相对应的原始数据为模板，相应地形成一修改策略，所述执行修改模块对应地执行所述修改策略，以相应地修改所述测试机中的测试数据。

进一步的，所述阈值为被实施为所述原始数据与测试数据的匹配度。

进一步的，所述匹配度是所述阈值被实施为所述原始数据相同和/或不同参数的数量。