[发明专利]电磁感应型编码器及其使用方法

权利要求书

1.一种电磁感应型编码器，包括：

检测头和标尺，所述检测头和标尺彼此面对并且相对于彼此在测量轴上相对地移动，

其中，所述检测头具有被配置为相对于第一轨道产生磁通量的第一收发器线圈以及被配置为相对于第二轨道产生磁通量的第二收发器线圈，

其中，所述标尺具有第一多个周期性元件以及第二多个周期性元件，所述第一多个周期性元件是相对于所述第一轨道在测量轴上周期性地排列的导体，所述第二多个周期性元件是相对于所述第二轨道在测量轴上周期性地排列的导体，

其中，所述第一多个周期性元件的周期与所述第二多个周期性元件的周期不同，

其中，所述检测头具有接收器线圈，所述接收器线圈从所述第一轨道连续延伸到所述第二轨道、与由所述第一多个周期性元件产生的磁通量和由所述第二多个周期性元件产生的磁通量电磁耦合、并且检测由所述第一多个周期性元件产生的磁通量的相位和由所述第二多个周期性元件产生的磁通量的相位。

2.根据权利要求1所述的电磁感应型编码器，还包括：

发送信号生成器，被配置为将第一发送信号发送到所述第一轨道的第一收发器线圈，并且将第二发送信号发送到所述第二轨道的第二收发器线圈；以及

位移量测量器，被配置为基于从所述接收器线圈输出的信号来测量所述检测头与所述标尺之间的相对位移量，

其中，所述发送信号生成器在将所述第一发送信号发送到所述第一收发器线圈时不将所述第二发送信号发送到所述第二收发器线圈，并且在将所述第二发送信号发送到所述第二收发器线圈时不将所述第一发送信号发送到所述第一收发器线圈。

3.根据权利要求1所述的电磁感应型编码器，其中，所述第一多个周期性元件的周期与所述第二多个周期性元件的周期沿着测量轴是不同的，或者所述第一多个周期性元件的位置与所述第二多个周期性元件的位置是不同的。

4.根据权利要求1所述的电磁感应型编码器，其中，所述第一多个周期性元件通过导体彼此连接，

其中，所述第二多个周期性元件通过导体彼此连接，

其中，所述第一收发器线圈和所述第二收发器线圈具有布线，使得在所述第一多个周期性元件的每个和所述第二多个周期性元件的每个中产生在相反方向流动的两个或更多个涡电流。

5.根据权利要求4所述的电磁感应型编码器，其中，所述接收器线圈具有被配置为产生所述两个或更多个涡电流的两个或更多个线圈。

6.根据权利要求1所述的电磁感应型编码器，其中，所述第一多个周期性元件中的每个没有连接到所述第二多个周期性元件中的每个。

7.一种电磁感应型编码器的使用方法，包括：

将第一发送信号发送到第一轨道的第一收发器线圈，而不将第二发送信号发送到第二轨道的第二收发器线圈；以及

将所述第二发送信号发送到所述第二收发器线圈，而不将所述第一发送信号发送到所述第一收发器线圈，

其中，所述电磁感应型编码器包括彼此面对且在测量轴上相对于彼此而相对地移动的检测头和标尺，

其中，所述检测头具有被配置为相对于所述第一轨道产生磁通量的所述第一收发器线圈和被配置为相对于所述第二轨道产生磁通量的所述第二收发器线圈，

其中，所述标尺具有第一多个周期性元件和第二多个周期性元件，所述第一多个周期性元件是相对于所述第一轨道在测量轴上周期性地排列的导体，所述第二多个周期性元件是相对于所述第二轨道在测量轴上周期性地排列的导体，

其中，所述第一多个周期性元件的周期与所述第二多个周期性元件的周期不同，

其中，所述检测头具有接收器线圈，所述接收器线圈从所述第一轨道连续延伸到所述第二轨道、与由所述第一多个周期性元件产生的磁通量和由所述第二多个周期性元件产生的磁通量电磁耦合、并且检测由所述第一多个周期性元件产生的磁通量的相位和由所述第二多个周期性元件产生的磁通量的相位。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一多个周期性元件中的每个没有连接到所述第二多个周期性元件中的每个。