[发明专利]一种电子半导体加工用清洗装置

权利要求书

1.一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：包括：

兆声波清洗壳体(1)，所述兆声波清洗壳体(1)的底部设有周期性振动的弹性振动板(11)；所述弹性振动板(11)活动盖设于所述兆声波清洗壳体(1)的底部；所述兆声波清洗壳体(1)的外侧设有兆声波共振腔换能器；

清洗液存储装置(2)，用于存储清洗液，并通过泵体(3)将清洗液泵入所述兆声波清洗壳体(1)内；

电磁脉冲振动器(4)，所述电磁脉冲振动器(4)在清洗液中发生脉冲振动，通过电磁脉冲震源能连续发射；

清洗管路组件(5)，呈环形阵列分布于所述兆声波清洗壳体(1)内侧壁上；且与所述清洗液存储装置(2)相互连通；

毛刷组件(6)，位于所述兆声波清洗壳体(1)底部，对电子半导体进行滚动清理；

驱动部件(7)，能够同时控制所述电磁脉冲振动器(4)和所述毛刷组件(6)同步旋转；

振动组件(8)，对所述弹性振动板(11)产生周期性振动；并配合所述电磁脉冲振动器(4)、所述兆声波共振腔换能器实现对电子半导体高效率清洗。

2.如权利要求1所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述兆声波清洗壳体(1)与所述清洗液存储装置(2)之间设有所述泵体(3)；

所述清洗液存储装置(2)的底部且靠近所述泵体(3)的一端设有出液管(21)，所述出液管(21)的一端通过法兰固定在所述清洗液存储装置(2)的外壁上，所述出液管(21)的另一端与所述泵体(3)的进清洗液端固定连接，所述泵体(3)的出清洗液端的管路与所述兆声波清洗壳体(1)内部的所述清洗管路组件(5)相贯通。

3.如权利要求1所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述清洗管路组件(5)包括进液管(51)、和等间距设于所述进液管(51)上的高压喷头()；

所述进液管(51)的内径为沿其出清洗液方向呈阶梯式分布；

各段所述进液管(51)的出清洗液孔处设有所述高压喷头()。

4.如权利要求1所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述驱动部件(7)包括设置在所述兆声波清洗壳体(1)外侧的固定座(71)、固定在所述固定座(71)上的驱动电机(72)、与所述驱动电机(72)的传动轴固定连接的清洗轴(73)、套设在所述清洗轴(73)上的主动传动齿轮(74)、从动轴(75)、套设在所述从动轴(75)且与所述主动传动齿轮(74)相啮合的从动传动齿轮(76)、以及用于驱动所述电磁脉冲振动器(4)旋转的齿轮驱动组件(77)；

所述驱动电机(72)驱动所述主动传动齿轮(74)并啮合所述从动传动齿轮(76)旋转，进而带动所述齿轮驱动组件(77)旋转并带动所述电磁脉冲振动器(4)和所述毛刷组件(6)同步旋转。

5.如权利要求1所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述振动组件(8)包括具有凹槽的固定座(81)、动力件(82)、与所述动力件(82)的主动轴动力连接的凸轮(83)、一端通过销轴铰接在所述固定座(81)另一端的驱动连杆(84)；

所述驱动连杆(84)与所述凸轮(82)相贴合的一端设有螺杆轴承(9)。

6.如权利要求5所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述固定座(81)上设有梯形缺口(811)，所述驱动连杆(84)的底部设有与所述梯形缺口(811)内底壁固定连接的弹簧(10)。

7.如权利要求1所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述兆声波清洗壳体(1)的一侧壁上设有排清洗液管(11)。

8.如权利要求1所述一种电子半导体加工用清洗装置，其特征在于：

所述开口的上方设有箱门(12)，所述箱门(12)通过合页与所述兆声波清洗壳体(1)铰接连接。