[发明专利]压力检测装置及抛光设备

权利要求书

1.一种压力检测装置，用于抛光设备，其特征在于，所述压力检测装置包括载荷传感器、球面滑动轴承和底盘；

所述底盘的底部用于连接所述抛光设备的抛光头，所述底盘的顶部与所述球面滑动轴承的内圈连接；所述载荷传感器的测量端与所述球面滑动轴承的外圈连接；

所述载荷传感器的安装端与所述抛光设备的驱动轴连接，所述抛光头用于对晶圆表面抛光，所述球面滑动轴承使得连接有所述抛光头的所述底盘能够转动，以调节对晶圆的抛光角度，所述载荷传感器用于测量抛光头轴向上的压力，

所述球面滑动轴承为杆端关节轴承，所述杆端关节轴承的连接杆与所述载荷传感器的测量端连接；

所述压力检测装置还包括支撑架，所述支撑架包括顶板、底板、导向杆、弹性垫和锁紧件；

所述顶板用于连接所述抛光设备的驱动轴，且所述载荷传感器安装于所述顶板的底面；

所述导向杆的底端与所述底板相连接，所述杆端关节轴承的连接杆与所述底板相连接；

所述导向杆的顶端贯穿所述顶板和所述弹性垫，且所述锁紧件将所述导向杆的顶端锁紧于所述弹性垫处，以抵消所述载荷传感器下部的零件的重量。

2.根据权利要求1所述的压力检测装置，其特征在于，所述底盘与所述球面滑动轴承之间设置有销轴，所述销轴贯穿所述球面滑动轴承的内圈，且所述销轴的两端与所述底盘连接。

3.根据权利要求2所述的压力检测装置，其特征在于，所述底盘形成有凸起的连接部，所述销轴的两端与所述连接部连接；

所述底板形成有容置腔，所述连接部、所述销轴和所述杆端关节轴承的主体部位于所述容置腔内。

4.根据权利要求3所述的压力检测装置，其特征在于，所述底板包括环状部、侧壁部和连接盘；

所述环状部位于所述侧壁部的周向，且所述侧壁部向远离所述底盘的一侧凸出于所述环状部；所述侧壁部和所述连接盘围设形成所述容置腔，所述连接杆贯穿所述连接盘；

所述导向杆的数量为多个，且多个所述导向杆间隔设置于所述侧壁部的周向，并与所述环状部连接。

5.根据权利要求1所述的压力检测装置，其特征在于，所述载荷传感器和所述顶板之间设置有推力球轴承组件；

所述推力球轴承组件包括平面推力球轴承和轴承座；

所述轴承座与所述顶板连接，所述轴承座形成有承托部，所述平面推力球轴承的座圈安装于所述承托部；

所述平面推力球轴承的轴圈与所述载荷传感器的安装端连接。

6.根据权利要求5所述的压力检测装置，其特征在于，所述推力球轴承组件还包括安装座；

所述安装座包括贯穿部和安装部，所述贯穿部的底端与所述载荷传感器连接，所述安装部与所述贯穿部的另一端连接；

所述安装部穿过所述平面推力球轴承的座圈和轴圈，且所述安装部安装于所述轴圈的顶面和所述顶板之间。

7.根据权利要求1所述的压力检测装置，其特征在于，位于所述导向杆的顶端的所述锁紧件为防松螺母；

所述载荷传感器连接有电压放大器。

8.一种抛光设备，其特征在于，包括如权利要求1至7中任一项所述的压力检测装置。