[发明专利]压力检测装置及抛光设备

说明书

本申请涉及半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种压力检测装置及抛光设备。压力检测装置用于抛光设备，所述压力检测装置包括载荷传感器、球面滑动轴承和底盘；所述底盘的底部用于连接所述抛光设备的抛光头，所述底盘的顶部与所述球面滑动轴承的内圈连接；所述载荷传感器的测量端与所述球面滑动轴承的外圈连接；所述载荷传感器的安装端与所述抛光设备的驱动轴连接。本申请提供的压力检测装置结构简单实用、运行平稳且控制精度高，可适用于对成批芯片进行抛光加工的专用抛光设备。

技术领域

本申请涉及半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种压力检测装置及抛光设备。

背景技术

在芯片的制造过程中，在对芯片进行抛光时，需要对抛光压力进行监测。现有的对抛光压力监测的方式存在控制难度大，且难以保证芯片的抛光精度。

发明内容

本申请的目的在于提供一种压力检测装置及抛光设备，用于对抛光设备的抛光压力进行监测。

本申请提供了一种压力检测装置，用于抛光设备，所述压力检测装置包括载荷传感器、球面滑动轴承和底盘；

所述底盘的底部用于连接所述抛光设备的抛光头，所述底盘的顶部与所述球面滑动轴承的内圈连接；所述载荷传感器的测量端与所述球面滑动轴承的外圈连接；

所述载荷传感器的安装端与所述抛光设备的驱动轴连接。

在上述技术方案中，进一步地，所述球面滑动轴承为杆端关节轴承，所述杆端关节轴承的连接杆与所述载荷传感器的测量端连接。

在上述技术方案中，进一步地，所述底盘与所述球面滑动轴承之间设置有销轴，所述销轴贯穿所述球面滑动轴承的内圈，且所述销轴的两端与所述底盘连接。

在上述技术方案中，进一步地，还包括支撑架，所述支撑架包括顶板、底板、导向杆、弹性垫和锁紧件；

所述顶板用于连接所述抛光设备的驱动轴，且所述载荷传感器安装于所述顶板的底面；

所述导向杆的底端与所述底板相连接，所述杆端关节轴承的连接杆与所述底板相连接；

所述导向杆的顶端贯穿所述顶板和所述弹性垫，且所述锁紧件将所述导向杆的顶端锁紧于所述弹性垫处，以抵消所述载荷传感器下部的零件的重量。

在上述技术方案中，进一步地，所述底盘形成有凸起的连接部，所述销轴的两端与所述连接部连接；

所述底板形成有容置腔，所述连接部、所述销轴和所述杆端关节轴承的主体部位于所述容置腔内。

在上述技术方案中，进一步地，所述底板包括环状部、侧壁部和连接盘；

所述环状部位于所述侧壁部的周向，且所述侧壁部向远离所述底盘的一侧凸出于所述环状部；所述侧壁部和所述连接盘围设形成所述容置腔，所述连接杆贯穿所述连接盘；

所述导向杆的数量为多个，且多个所述导向杆间隔设置于所述侧壁部的周向，并与所述环状部连接。

在上述技术方案中，进一步地，所述载荷传感器和所述顶板之间设置有推力球轴承组件；

所述推力球轴承组件包括平面推力球轴承和轴承座；

所述轴承座与所述顶板连接，所述轴承座形成有承托部，所述平面推力球轴承的座圈安装于所述承托部；

所述平面推力球轴承的轴圈与所述载荷传感器的安装端连接。

在上述技术方案中，进一步地，所述推力球轴承组件还包括安装座；

所述安装座包括贯穿部和安装部，所述贯穿部的底端与所述载荷传感器连接，所述安装部与所述贯穿部的另一端连接；