[发明专利]可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构

权利要求书

1.一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，包括刻蚀机机台（1）和硅片入篮传送线安装台（3），在刻蚀机机台（1）上设置有刻蚀后硅片下料传送辊（2），在硅片入篮传送线安装台（3）上分别设置有硅片入篮纵向皮带传送线（4）和硅片入篮横向皮带传送线（5），在刻蚀机机台（1）与硅片入篮传送线安装台（3）之间，设置有翻转杆龙门支撑架（6），在翻转杆龙门支撑架（6）上设置有翻转驱动轴（8），在翻转驱动轴（8）的一端连接有翻转驱动电机（7），翻转驱动电机（7）设置在翻转杆龙门支撑架（6）上，其特征在于，在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），漏吸硅片倾斜收料盒（11）的上端与刻蚀机机台（1）的台面连接在一起，在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在第二组硅片（14）右侧的刻蚀后硅片下料传送辊（2）上设置有第三组硅片（15），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10），吸盘（10）与第二组硅片（14）吸附在一起。

2.根据权利要求1所述的一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，其特征在于，在翻转驱动轴（8）上等间隔地设置有五个“U”形摆杆（9），第一组硅片（13）、第二组硅片（14）和第三组硅片（15）均为五个硅片一组的硅片组。