[发明专利]一种掩膜版倾斜钻孔支架有效
申请号: | 202011541259.9 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN112571097B | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 钱超;杨波 | 申请(专利权)人: | 江苏高光半导体材料有限公司 |
主分类号: | B23Q3/00 | 分类号: | B23Q3/00;B23B41/00;B23Q11/00 |
代理公司: | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人: | 肖念 |
地址: | 212400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 倾斜 钻孔 支架 | ||
1.一种掩膜版倾斜钻孔支架,包括底板(1)和多根立柱(2)及多根斜柱(3),所述立柱(2)与斜柱(3)一一匹配,其特征在于,多根所述立柱(2)与底板(1)垂直固定连接,多根所述斜柱(3)的两端分别与底板(1)和立柱(2)固定连接,所述斜柱(3)的倾斜角度为 45 度,多根所述斜柱(3)上设有同一个卡紧机构(4),所述卡紧机构(4)包括设置于多根斜柱(3)上表面的第一滑槽(7),所述第一滑槽(7)内滑动连接有与之相匹配的第一滑块(8),其中一个所述第一滑槽(7)的底部固定连接有驱动电机(9),所述驱动电机(9)上同轴固定连接有螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)的一端螺纹贯穿第一滑块(8)并与第一滑槽(7)的内壁转动连接,多块所述第一滑块(8)上固定连接有同一根上卡板(11),多根所述斜柱(3)上还固定连接有同一根下卡板(12),所述下卡板(12)与上卡板(11)对应设置,所述下卡板(12)与上卡板(11)的相对侧壁上均设有多排固定针(13),所述固定针(13)包括内杆(14)和外杆(15),所述内杆(14)插设于外杆(15)内,所述内杆(14)和外杆(15)之间通过第一弹簧(16)固定连接,上卡板(11)的侧壁上设有导引架(17),所述导引架(17)呈门型,最外侧的两根所述斜柱(3)的侧壁上均设有多个第二滑槽(18),所述第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块(19),所述第二滑块(19)上固定连接有伸缩杆(20),所述伸缩杆(20)上套设有第二弹簧(21),所述伸缩杆(20)的一端与第二滑槽(18)的顶面固定连接,多块所述第二滑块上固定连接有同一块边板(22),所述边板(22)紧贴斜柱(3)的侧边,且其一端倾斜设置,所述边板(22)与导引架(17)活动连接,所述底板(1)上还设有用于配合卡紧机构(4)的吸附机构(5),所述吸附机构(5)包括设置于底板(1)内的腔室(23),所述腔室(23)的顶面开设有开口,所述开口内固定连接有拦网(24),所述腔室(23)的内壁上贯通固定连接有气泵(25),所述斜柱(3)设有与腔室(23)连通的穿槽,所述斜柱(3)的上表面上开设有与穿槽连通的吸附孔(26),所述底板(1)上开设有多个上下贯通的螺纹孔(6)。
2.根据权利要求 1 所述的掩膜版倾斜钻孔支架,其特征在于,所述拦网(24)的网孔直径为 1-3mm。
3.根据权利要求 1 所述的掩膜版倾斜钻孔支架,其特征在于,所述立柱(2)内设有空腔,所述空腔填充有填充液(27),所述填充液(27)内填充有颗粒块。
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