[发明专利]一种光电元器件加工用离子注入装置

权利要求书

1.一种光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面固定连接有密封箱体(2)与真空泵(3)，所述密封箱体(2)与真空泵(3)之间通过管道组件连接，所述工作台(1)的下表面固定连接有安装壳体(5)，所述安装壳体(5)的内部固定安装有伺服电机(6)，所述伺服电机(6)的输出轴固定连接有主驱动轴(7)，所述主驱动轴(7)延伸至密封箱体(2)的内部并固定连接有连接轴(8)，所述连接轴(8)的顶部与密封箱体(2)的内顶部转动连接，所述连接轴(8)的外表面设置有离子注入组件，所述主驱动轴(7)的外表面固定连接有中安装座(11)，所述中安装座(11)的表面贯穿并转动连接有副旋转轴(12)，所述副旋转轴(12)的顶部固定连接有放置板(15)，所述放置板(15)的上表面固定连接有夹持组件，所述副旋转轴(12)的底部固定连接有转动齿轮(23)，所述密封箱体(2)的内底部设置有啮合组件。

2.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述管道组件包括与真空泵(3)固定连接的主管道(28)，所述主管道(28)远离真空泵(3)的一端固定连接有连接管道(4)，所述连接管道(4)远离主管道(28)的一端固定连接有副管道(29)，所述副管道(29)远离连接管道(4)的一端与密封箱体(2)接通。

3.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述离子注入组件包括上安装座(9)，所述上安装座(9)与连接轴(8)的外表面固定连接，所述上安装座(9)的下表面固定连接有多个离子喷头(10)。

4.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述副旋转轴(12)的外表面固定连接有转动块(13)，所述副旋转轴(12)通过转动块(13)与中安装座(11)转动连接，所述中安装座(11)的内部开设有与转动块(13)相对应的安装槽(14)。

5.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述夹持组件包括固定长条(16)，所述固定长条(16)的侧壁贯穿插接有抽拉插杆(17)，所述抽拉插杆(17)的一端固定连接有拉动块(18)，所述抽拉插杆(17)的另一端固定连接有夹持块(19)，所述抽拉插杆(17)的外表面套设有连接弹簧(20)。

6.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述啮合组件包括大圆环(24)，所述大圆环(24)的内壁固定连接有固定齿环(25)，所述固定齿环(25)与转动齿轮(23)啮合。

7.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述主驱动轴(7)的外表面且位于中安装座(11)的下方固定连接有下安装座(21)，所述下安装座(21)的内部固定连接有轴承(22)，所述副旋转轴(12)通过轴承(22)与下安装座(21)转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种光电元器件加工用离子注入装置，其特征在于：所述密封箱体(2)的正面活动安装有密封门体(26)，所述密封门体(26)的正面设置有旋转件(27)。