[发明专利]一种光电元器件加工用离子注入装置

说明书

本发明提供一种光电元器件加工用离子注入装置，涉及光电元器件加工技术领域。该光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有密封箱体与真空泵，所述密封箱体与真空泵之间通过管道组件连接，所述工作台的下表面固定连接有安装壳体，所述安装壳体的内部固定安装有伺服电机。本发明，通过主驱动轴带着上安装座、中安装座与下安装座同步转动，当上安装座转动时带着多个离子喷头转动，当中安装座转动时带着多个放置板转动，同时，由于固定齿环与转动齿轮啮合，使得多个放置板在绕着主驱动轴转动的同时，放置板自身也会发生自转，离子注入更加均匀，从而就提高了离子注入的效果。

技术领域

本发明涉及光电元器件加工技术领域，具体为一种光电元器件加工用离子注入装置。

背景技术

光电器件是指利用半导体光敏特性工作的光电导器件，利用半导体光生伏特效应工作的光电池和半导体发光器件等。半导体光电器件如光导管、光电池、光电二极管、光电晶体管等；半导体热电器件如热敏电阻、温差发电器和温差电制冷器等。

离子注入是指当真空中有一束离子束射向一块固体材料时，离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这个现象叫做溅射；而当离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射；另外有一种现象是，离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中的这一现象叫作离子注入。

在光电元器件加工过程中，需要对其进行离子注入，然而现有的离子注入装置多为固定式，光电元器件在注入离子的过程中无法做到均匀，从而降低了光电元器件离子注入的质量。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种光电元器件加工用离子注入装置，解决了现有技术中存在的缺陷与不足。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有密封箱体与真空泵，所述密封箱体与真空泵之间通过管道组件连接，所述工作台的下表面固定连接有安装壳体，所述安装壳体的内部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有主驱动轴，所述主驱动轴延伸至密封箱体的内部并固定连接有连接轴，所述连接轴的顶部与密封箱体的内顶部转动连接，所述连接轴的外表面设置有离子注入组件，所述主驱动轴的外表面固定连接有中安装座，所述中安装座的表面贯穿并转动连接有副旋转轴，所述副旋转轴的顶部固定连接有放置板，所述放置板的上表面固定连接有夹持组件，所述副旋转轴的底部固定连接有转动齿轮，所述密封箱体的内底部设置有啮合组件。

优选的，所述管道组件包括与真空泵固定连接的主管道，所述主管道远离真空泵的一端固定连接有连接管道，所述连接管道远离主管道的一端固定连接有副管道，所述副管道远离连接管道的一端与密封箱体接通。

优选的，所述离子注入组件包括上安装座，所述上安装座与连接轴的外表面固定连接，所述上安装座的下表面固定连接有多个离子喷头。

优选的，所述副旋转轴的外表面固定连接有转动块，所述副旋转轴通过转动块与中安装座转动连接，所述中安装座的内部开设有与转动块相对应的安装槽。

优选的，所述夹持组件包括固定长条，所述固定长条的侧壁贯穿插接有抽拉插杆，所述抽拉插杆的一端固定连接有拉动块，所述抽拉插杆的另一端固定连接有夹持块，所述抽拉插杆的外表面套设有连接弹簧。

优选的，所述啮合组件包括大圆环，所述大圆环的内壁固定连接有固定齿环，所述固定齿环与转动齿轮啮合。

优选的，所述主驱动轴的外表面且位于中安装座的下方固定连接有下安装座，所述下安装座的内部固定连接有轴承，所述副旋转轴通过轴承与下安装座转动连接。