[发明专利]显示背板及其制备方法、显示面板在审
申请号: | 202011548943.X | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN112687722A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 冯铮宇;樊勇;柳铭岗 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L27/15;H01L33/44;H01L23/528;H01L21/768;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 刘泳麟 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 背板 及其 制备 方法 面板 | ||
1.一种显示背板,其特征在于,包括:
基板;
第一金属层,设置于所述基板上;
层间介质层,覆盖所述第一金属层;
第二金属层和附加金属层,设置于所述层间介质层远离所述基板的一侧;
减反层,设置于所述第二金属层远离所述基板的一侧;以及
平坦层,覆盖所述第二金属层;
其中,所述附加金属层与所述第一金属层对应设置,以使位于所述第一金属层上方的所述平坦层的厚度与位于所述第二金属层上方的所述平坦层的厚度相等。
2.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述显示背板还包括:
遮光层,设置于所述基板上;
缓冲层,覆于所述遮光层和所述基板上;
有源层,设置于所述缓冲层上;
栅极绝缘层,覆于所述有源层和所述缓冲层上;
栅极层,设置于所述栅极绝缘层上;以及
源极和漏极,设置于所述层间介质层上,所述源极和所述漏极分别通过第一过孔和第二过孔连接至所述有源层,所述漏极通过第三过孔连接至所述遮光层;
其中,所述第一金属层包括所述栅极层,所述第二金属层包括所述源极和所述漏极。
3.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述附加金属层在所述基板上的正投影覆盖所述第一金属层在所述基板上的正投影。
4.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述附加金属层和所述第一金属层之间通过设置于所述平坦层上的第四过孔连接。
5.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述减反层的材料为氧化钼。
6.根据权利要求1所述的显示背板,其特征在于,所述显示背板为Micro-LED显示背板或OLED显示背板。
7.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1~6任一项所述的显示背板。
8.一种显示背板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S10:提供基板,在所述基板上形成第一金属层;
S20:在所述第一金属层上形成层间介质层;
S30:在所述层间介质层上形成第二金属层和附加金属层,所述附加金属层与所述第一金属层对应设置;
S40:在所述第二金属层和所述附加金属层远离所述基板的一侧形成减反层;以及
S50:在所述减反层上形成平坦层,所述平坦层覆盖所述层间介质层、所述第二金属层、所述附加金属层以及所述减反层,位于所述第二金属层上方的所述平坦层的厚度与位于所述附加金属层上方的所述平坦层的厚度相等。
9.根据权利要求8所述的显示背板的制备方法,其特征在于,在制备所述显示背板的步骤中,还包括:
在所述基板上图案化形成遮光层;
在所述遮光层和所述基板上形成缓冲层;
在所述缓冲层上图案化形成有源层;
在所述有源层上图案化形成栅极绝缘层;
在所述栅极绝缘层上图案化形成栅极层;
在所述栅极层、所述有源层以及所述缓冲层上形成所述层间介质层;
在所述层间介质层上图案化形成连接于所述有源层的源极和漏极;
在所述层间介质层上图案化形成所述附加金属层;
在所述源极和所述漏极以及所述附加金属层上形成所述减反层;以及
在所述源极、所述漏极以及所述附加金属层以及所述减反层上形成所述平坦层。
10.根据权利要求8所述的显示背板的制备方法,其特征在于,所述第二金属层和所述附加金属层采用同一制程制备而成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的