[发明专利]显示背板及其制备方法、显示面板在审
申请号: | 202011548943.X | 申请日: | 2020-12-24 |
公开(公告)号: | CN112687722A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 冯铮宇;樊勇;柳铭岗 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L27/15;H01L33/44;H01L23/528;H01L21/768;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 刘泳麟 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 背板 及其 制备 方法 面板 | ||
本发明提供一种显示背板及其制备方法、显示面板,显示背板包括基板、第一金属层、层间介质层、第二金属层、附加金属层、减反层以及平坦层,第二金属层和附加金属层设置于层间介质层远离基板的一侧,减反层设置于第二金属层远离基板的一侧,平坦层覆盖所述第二金属层,附加金属层与第一金属层对应设置,以使位于第一金属层上方的平坦层的厚度与位于第二金属层上方的平坦层的厚度相等,通过制备与第二金属层同层设置的附加金属层,避免由于不同膜层的金属走线上方的平坦层产生的薄膜干涉现象对减反效果的影响,能够优化显示面板的减反效果。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示背板及其制备方法、显示面板。
背景技术
由于微发光二极管(Micro Light-Emitting Diode,Micro-LED)显示背板或有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)OLED显示背板中存在诸多金属走线,会造成屏幕的反射率偏光问题,从而影响实际观看效果,目前通常利用黑矩阵或黑油遮蔽金属走线的方式,或者采用圆偏光片的方式来降低屏幕的反射,然而采用黑矩阵或黑油遮蔽金属走线的方式存在降低开口率、增加实验制程、涂布精度低等缺陷,采用圆偏光片的方式存在降低出射光的亮度等缺陷,现有技术发现可以利用薄膜干涉原理在合适的膜厚参数条件下来有效降低金属走线的反射,然而,由于显示背板中的金属走线实际上位于不同的膜层,而不同膜层的金属走线上方的薄膜的厚度不一致,则会影响最终的减反效果。
综上所述,需要提供一种新的显示背板及其制备方法、显示面板,来解决上述技术问题。
发明内容
本发明提供的显示背板及其制备方法、显示面板,解决了现有的显示背板利用薄膜干涉降低反射率时,由于不同膜层的金属走线上方的薄膜的厚度不一致,会影响最终的减反效果的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明实施例提供一种显示背板,包括:
基板;
第一金属层,设置于所述基板上;
层间介质层,覆盖所述第一金属层;
第二金属层和附加金属层,设置于所述层间介质层远离所述基板的一侧;减反层,设置于所述第二金属层远离所述基板的一侧;以及
平坦层,覆盖所述第二金属层;
其中,所述附加金属层与所述第一金属层对应设置,以使位于所述第一金属层上方的所述平坦层的厚度与位于所述第二金属层上方的所述平坦层的厚度相等。
根据本发明实施例提供的显示背板,所述显示背板还包括:
遮光层,设置于所述基板上;
缓冲层,覆于所述遮光层和所述基板上;
有源层,设置于所述缓冲层上;
栅极绝缘层,覆于所述有源层和所述缓冲层上;
栅极层,设置于所述栅极绝缘层上;以及
源极和漏极,设置于所述层间介质层上,所述源极和所述漏极分别通过第一过孔和第二过孔连接至所述有源层,所述漏极通过第三过孔连接至所述遮光层;
其中,所述第一金属层包括所述栅极层,所述第二金属层包括所述源极和所述漏极。
根据本发明实施例提供的显示背板,所述附加金属层在所述基板上的正投影覆盖所述第一金属层在所述基板上的正投影。
根据本发明实施例提供的显示背板,所述附加金属层和所述第一金属层之间通过设置于所述平坦层上的第四过孔连接。
根据本发明实施例提供的显示背板,所述减反层的材料为氧化钼。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的