[发明专利]一种晶圆检测装置

权利要求书

1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：

固定台，用于承载晶圆传送盒，所述固定台上设有缺口位，所述缺口位位于晶圆传送盒的开口侧；

检测件，用于收发检测信号，所述检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧；以及

驱动件，所述驱动件连接所述检测件或所述固定台，以沿上下方向驱使所述检测件与所述固定台发生相对运动，使所述检测件经由所述缺口位进出晶圆传送盒。

2.如权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述检测件包括第一支撑部和第一检测部；其中，

所述第一支撑部包括第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂与所述第二支撑臂沿左右方向互呈并排间隔分布，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂用于经由所述缺口位进出晶圆传送盒；

所述第一检测部包括用于沿左右方向发射平行的检测光的检测光发射件和用于接收检测光的检测光接收件，所述检测光发射件设置在所述第一支撑臂邻近晶圆传送盒的一端，所述检测光接收件设置在所述第二支撑臂邻近晶圆传送盒的一端，且所述检测光发射件与所述检测光接收件呈左右相对分布。

3.如权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一支撑部还包括：

第一导滑件，用于所述检测光发射件相对于所述第一支撑臂沿左右方向和/或前后方向运动，所述检测光发射件通过所述第一导滑件连接所述第一支撑臂；以及

第二导滑件，用于所述检测光接收件相对于所述第二支撑臂沿左右方向和/或前后方向运动，所述检测光接收件通过所述第二导滑件连接所述第二支撑臂。

4.如权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一支撑部还包括若干个档位锁件，若干个所述档位锁件沿所述第一导滑件和所述第二导滑件的延伸方向排列分布，用于固定所述检测光发射件与所述第一支撑臂之间、所述检测光接收件与所述第二支撑臂之间的相对位置。

5.如权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第一支撑部还包括：

定位臂，所述定位臂沿左右方向分布于所述第一支撑臂和所述第二支撑臂远离晶圆传送盒的一端；以及

第三导滑件，用于所述第一支撑臂和所述第二支撑臂沿左右方向相互靠近或远离，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂均通过所述第三导滑件连接所述定位臂。

6.如权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述检测件包括：

第二支撑部，用于经由所述缺口位进出晶圆传送盒，所述第二支撑部布置在晶圆传送盒的开口侧；以及

第二检测部，用于向晶圆传送盒内的晶圆发射电磁波或机械波形式的检测信号，并接收自晶圆反射回的检测信号，所述第二检测部设置在所述第二支撑部邻近晶圆传送盒的一端。

7.如权利要求6所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第二支撑部包括第三支撑臂和第四支撑臂，所述第三支撑臂与所述第四支撑臂沿左右方向互呈并排间隔分布，所述第三支撑臂和所述第四支撑臂用于经由所述缺口位进出晶圆传送盒，且所述第三支撑臂和所述第四支撑臂上均设置有所述第二检测部。

8.如权利要求6所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述第二检测部为反射式光电传感器或超声波传感器。

9.如权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述驱动件包括：

连接部，所述连接部布置在晶圆传送盒的开口侧，所述连接部与所述固定台沿上下方向互呈并排分布，且所述连接部的一端连接所述检测件；以及

驱动部，所述驱动部的动力输出端与所述连接部的另一端连接，以驱使所述连接部带动所述检测件相对于所述固定台沿上下方向运动。

10.如权利要求9所述的晶圆检测装置，其特征在于，还包括承载机体，所述承载机体具有第一空间和第二空间，所述第一空间沿上下方向分布于所述第二空间的上方侧或下方侧，所述固定台安装在第一空间内，所述驱动部安装在所述第二空间内，所述晶圆传送盒远离所述固定台的端侧设有所述缺口位。