[发明专利]一种晶圆检测装置

说明书

一种晶圆检测装置，包括驱动件、用于承载晶圆传送盒的固定台和用于收发检测信号的检测件，固定台上设有缺口位，检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧，驱动件连接检测件或固定台，以沿上下方向驱使检测件与固定台发生相对运动。利用缺口位与检测件之间的对位关系以及在驱动件的驱动作用下，使得检测件与固定台沿单一的上下方向进行相对运动，在检测件经由缺口位进入晶圆传送盒内后，即可逐一地对晶圆传送盒内的晶圆进行扫描检测，以同步完成诸如放置位置是否正确、是否存在叠片、计数统计等项目，无需在每进行一次检测作业前对检测件进行位置调试，从而通过简化准备流程，可为有效提高检测效率创造条件。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆检测装置。

背景技术

周知，设备前端模块（即：EFEM）和标准装载端口模块（即：Loadport）是集成电路制造设备的重要组成部件；其中，设备前端模块能够实现从晶圆传送盒中取出晶圆、晶圆分类、预对准等功能，而标准装载端口模块则是晶圆传送盒进出设备前端模块的窗口；在标准装载端口模块内的晶圆传送盒进入设备前端模块之前，往往需要对晶圆传送盒内的晶圆的位置情况等进行检测，以避免晶圆在后续的抓取、传送过程中发生破损等问题。然而，现有的晶圆检测方案却存在检测流程复杂、检测效率低等缺陷。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种晶圆检测装置，以达到提高检测效率的目的。

一种实施例中提供一种晶圆检测装置，包括：

固定台，用于承载晶圆传送盒，所述固定台上设有缺口位，所述缺口位位于晶圆传送盒的开口侧；

检测件，用于收发检测信号，所述检测件沿前后方向布置在晶圆传送盒的开口侧；以及

驱动件，所述驱动件连接所述检测件或所述固定台，以沿上下方向驱使所述检测件与所述固定台发生相对运动，使所述检测件经由所述缺口位进出晶圆传送盒。

一个实施例中，所述检测件包括第一支撑部和第一检测部；其中，

所述第一支撑部包括第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂与所述第二支撑臂沿左右方向互呈并排间隔分布，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂用于经由所述缺口位进出晶圆传送盒；

所述第一检测部包括用于沿左右方向发射平行的检测光的检测光发射件和用于接收检测光的检测光接收件，所述检测光发射件设置在所述第一支撑臂邻近晶圆传送盒的一端，所述检测光接收件设置在所述第二支撑臂邻近晶圆传送盒的一端，且所述检测光发射件与所述检测光接收件呈左右相对分布。

一个实施例中，所述第一支撑部还包括：

第一导滑件，用于所述检测光发射件相对于所述第一支撑臂沿左右方向和/或前后方向运动，所述检测光发射件通过所述第一导滑件连接所述第一支撑臂；以及

第二导滑件，用于所述检测光接收件相对于所述第二支撑臂沿左右方向和/或前后方向运动，所述检测光接收件通过所述第二导滑件连接所述第二支撑臂。

一个实施例中，所述第一支撑部还包括若干个档位锁件，若干个所述档位锁件沿所述第一导滑件和所述第二导滑件的延伸方向排列分布，用于固定所述检测光发射件与所述第一支撑臂之间、所述检测光接收件与所述第二支撑臂之间的相对位置。

一个实施例中，所述第一支撑部还包括：

定位臂，所述定位臂沿左右方向分布于所述第一支撑臂和所述第二支撑臂远离晶圆传送盒的一端；以及

第三导滑件，用于所述第一支撑臂和所述第二支撑臂沿左右方向相互靠近或远离，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂均通过所述第三导滑件连接所述定位臂。

一个实施例中，所述检测件包括：

第二支撑部，用于经由所述缺口位进出晶圆传送盒，所述第二支撑部布置在晶圆传送盒的开口侧；以及