[发明专利]压电设备及MEMS设备

权利要求书

1.一种压电设备，其特征在于，具备：

第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极；

第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及

第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，

所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，

所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。

2.根据权利要求1所述的压电设备，其特征在于，

所述第三电极粘接于所述第二电极。

3.根据权利要求2所述的压电设备，其特征在于，

所述第三电极是包含金属填料的树脂系粘接剂。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电设备，其特征在于，

在所述第一基板上，设置有多个所述第一电极，

在所述第二基板上，与多个所述第一电极对应地设置有多个所述第二电极，

在所述第三基板上，与多个所述第一电极对应地设置有多个所述贯穿孔和多个所述第三电极，一个所述第三电极连接于一个所述第二电极，

在所述第二基板与所述第三基板之间设置有将相邻的所述第二电极之间隔开的壁部。

5.根据权利要求4所述的压电设备，其特征在于，

所述壁部由绝缘性的树脂系粘接剂构成。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的压电设备，其特征在于，

在所述第二基板与所述第三基板之间还设置有将所述第二基板与所述第三基板接合的绝缘性的树脂系粘接剂。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的压电设备，其特征在于，

所述第二基板具备：第一区域，层叠有所述第三基板及所述第一基板；以及第二区域，在所述第一区域的外侧包围所述第一区域，

所述第二基板的所述第二区域具有向层叠有所述第三基板及所述第一基板的层叠方向突出的筒状部，在所述筒状部的筒内配置有所述第二基板及所述第三基板。

8.一种MEMS设备，其特征在于，具备：

第一基板，配置有MEMS元件，并在第一面设置有连接于所述MEMS元件的第一电极；

第二基板，具有第二面，所述第二面设置有连接于控制电路的第二电极；以及

第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具有与所述第一基板的所述第一面接合的第三面以及与所述第二基板的所述第二面对置的第四面，

所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；

以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，

所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。