[发明专利]压电设备及MEMS设备

说明书

提供一种压电设备及MEMS设备，能够实现小型化。压电设备具备：第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极的；第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。

技术领域

本发明涉及压电设备及MEMS(微机电系统)设备。

背景技术

以往，已知有安装有MEMS设备的电子设备，该MEMS设备具备MEMS元件。

例如，专利文献1所记载的电子设备为打印机，并具备喷出墨而在记录介质上形成图像的记录头。

该记录头中，以面对供给墨的压力室的方式设置致动器单元，并通过致动器单元使压力室的压力变化而使墨从设置于压力室的喷嘴喷出。

该致动器单元是设置有压电元件作为MEMS元件的压电设备，并具备：面对压力室设置的振动板、设置于振动板的压电元件、控制压电元件的驱动IC以及配置在振动板与驱动IC之间的密封板。

密封板具有与振动板对置的面以及贯穿与驱动IC对置的面的贯穿孔，在该贯穿孔中设置有贯穿布线。另外，在密封板的与振动板对置的面上设置有与贯穿布线导通的导电膜，该导电膜经由凸起电极与设置在振动板的独立端子导通。另一方面，在密封板的与驱动IC对置的面上设置有与贯穿布线导通的上表面侧布线，且上表面侧布线连接于驱动IC的IC端子。并且，密封板在与振动板对置的面之中的外周部分设置有感光性粘接剂，并通过该感光性粘接剂而粘接并接合于振动板。

专利文献1：日本特开2018-47637号公报

然而，在专利文献1所记载的那样的压电设备中存在如下技术问题：需要使密封板的设置有贯穿布线及凸起电极的位置和设置有感光性粘接剂的位置在面方向上设为不同的位置，会妨碍压电设备的小型化。

此外，专利文献1是使用有压电元件作为MEMS元件的压电设备的示例，但作为MEMS元件，在使用除压电元件之外的功能元件时也具有同样的技术问题。

发明内容

第一方面的压电设备具备：第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极；第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。

第二方面的MEMS设备具备：第一基板，配置有MEMS元件，并在第一面设置有连接于所述MEMS元件的第一电极；第二基板，具有设置有连接于控制电路的第二电极的第二面；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具有与所述第一基板的所述第一面接合的第三面以及与所述第二基板的所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备从所述第三面贯穿到所述第四面的贯穿孔以及设置于所述贯穿孔并与所述第一电极连接的第三电极，所述第二电极与所述第三电极连接，并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。

附图说明

图1是示意性示出第一实施方式的超声波装置的概略构成的分解立体图。

图2是示出构成第一实施方式的超声波设备的超声波基板的概略构成的俯视图。

图3是沿图2中的A-A线剖切超声波基板及中间基板后的超声波基板及中间基板的剖视图。

图4是沿图2的B-B线剖切超声波设备后的超声波设备的剖视图。