[发明专利]半导体清洗设备及其机械臂

权利要求书

1.一种半导体清洗设备中的机械臂，用于传送待加工工件，其特征在于，包括：箱体、基板组件、机械手臂组件及检测组件；

所述箱体可移动，所述箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与所述第一侧壁和所述第二侧壁相邻的第三侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁可在外力作用下发生形变，所述第三侧壁上开设有缺口；

所述基板组件位于所述箱体内，与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，且贴近所述缺口设置，所述基板组件能在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时相对于所述箱体移动，所述基板组件包括相对的内侧面和外侧面，所述基板组件的内侧面用于安装所述机械手臂组件，所述基板组件的外侧面用于封闭所述缺口；

所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述基板组件的外侧面上，用于检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动，并在检测到所述相对运动时，使所述箱体停止移动。

2.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述基板组件通过多个弹性结构与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，所述弹性结构包括连接块、固定件及弹性件，所述连接块设置于所述基板组件的内侧面上，并且部分面向所述第一侧壁或所述第二侧壁的内侧面设置；所述固定件设置于所述第一侧壁或所述第二侧壁上；所述弹性件的两端分别与所述连接块及所述固定件连接。

3.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括滑轨结构，所述滑轨结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，所述滑轨结构包括滑轨及滑块，所述滑轨设置在所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述滑块与所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者连接，所述滑轨沿所述移动方向延伸设置，所述滑轨与所述滑块配合，在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时所述基板组件相对于所述箱体滑动。

4.如权利要求3所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括活动定位结构，所述活动定位结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，包括定位活栓及定位槽，所述定位活栓设置于所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述定位槽设置于所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者上，所述定位活栓与所述定位槽配合定位，在所述基板组件相对于所述箱体滑动时，所述定位活栓从所述定位槽中滑出。

5.如权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述基板组件包括自上至下设置的顶板、中板及底板，所述中板厚度大于所述顶板及所述底板，所述顶板、所述中板及所述底板的内侧面平齐构成所述基板组件的内侧面，所述中板伸入所述缺口，其外侧面与所述第三侧壁的外侧面平齐。

6.如权利要求5所述的机械臂，其特征在于，至少部分所述缺口的轮廓与至少部分所述中板的轮廓相匹配，所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述中板的外侧面轮廓相匹配的交界处。

7.如权利要求1至6任一所述的机械臂，其特征在于，所述检测组件包括感应块及感应器，所述感应块设置于所述第三侧壁的外侧面和所述基板组件的外侧面中的一者上，所述感应器设置于第三侧壁的外侧面和所述基板组件的外侧面中的另一者上，所述感应器用于检测所述感应块是否位移，以检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动。

8.如权利要求7所述的机械臂，其特征在于，所述检测组件包括电容感应开关或电磁感应开关。

9.如权利要求1至6任一所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括供电装置，所述供电装置用于为所述机械臂供电，所述检测组件与所述供电装置电连接以形成供电回路，用于在检测到所述相对运动时，断开所述供电回路，使所述箱体停止移动。

10.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一所述的机械臂。