[发明专利]半导体清洗设备及其机械臂

说明书

本申请实施例提供了一种半导体清洗设备及其机械臂。该机械臂包括：可移动箱体，该箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与第一侧壁和第二侧壁相邻的第三侧壁，第一侧壁和第二侧壁可在外力作用下发生形变，第三侧壁上开设有缺口；位于箱体内的基板组件，其与第一侧壁和第二侧壁活动连接，且贴近缺口设置，基板组件能在第一侧壁和/或第二侧壁发生形变时相对于箱体移动，基板组件的内侧面用于安装机械手臂组件，基板组件的外侧面用于封闭缺口；设置于第三侧壁的外侧面及基板组件的外侧面上的检测组件，用于在检测到相对运动时，使箱体停止移动。本申请实施例提供的机械臂检测面积较大，大幅提高了安全性能。

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种半导体清洗设备及其机械臂。

背景技术

目前，在半导体清洗设备中的片槽式湿法清洗设备中，机械臂起到传递晶圆或工件的作用。在日常工作中机械臂常常伴随着机械式伤害的危险隐患，尽管在设备硬件互锁回路里面加入了门互锁开关来实现任一门开启后即刻停止机械臂的安全互锁功能，但在某些调试、测试、检修等情况下，需要近距离调试机械臂的动作性能和位置设定，操作人员可能将门互锁屏蔽掉且工作在机械臂周围，在操作不慎或违规操作情况下，工作在机械臂附近的操作人员将处于危险之中，存在造成机械安全事故的隐患，因此在机械臂上加装防撞结构是非常必要的。

现有技术中机械臂的箱体的侧板外面均安装有带有安装基座的橡胶材质防撞条，机械臂在横向水平方向移动与障碍物发生碰撞时，防撞条被撞发生弹性形变，防撞条属于电气制动控制回路中的传感器，其发生形变将触发安全控制回路的制动动作。但是由于碰撞接触点必须要接触到防撞条且正面接触的应力使其表面发生较大弹性形变，并且由于防撞条面积较小，因此触发防撞条的概率较低，从而可能造成安全事故，对操作人员机械伤害的危险隐患较大。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种半导体清洗设备及其机械臂，用以解决现有技术存在由于防撞结构设计不合理导致机械臂容易造成安全事故，从而对操作人员机械伤害的危险隐患较大的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种半导体清洗设备中的机械臂，用于传送待加工工件，包括：箱体、基板组件、机械手臂组件及检测组件；所述箱体可移动，所述箱体包括在其移动方向上相对设置的第一侧壁和第二侧壁，以及与所述第一侧壁和所述第二侧壁相邻的第三侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁可在外力作用下发生形变，所述第三侧壁上开设有缺口；所述基板组件位于所述箱体内，与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，且贴近所述缺口设置，所述基板组件能在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时相对于所述箱体移动，所述基板组件包括相对的内侧面和外侧面，所述基板组件的内侧面用于安装所述机械手臂组件，所述基板组件的外侧面用于封闭所述缺口；所述检测组件设置于所述第三侧壁的外侧面及所述基板组件的外侧面上，用于检测所述箱体及所述基板组件之间的相对运动，并在检测到所述相对运动时，使所述箱体停止移动。

于本申请的一实施例中，所述基板组件通过多个弹性结构与所述第一侧壁和所述第二侧壁活动连接，所述弹性结构包括连接块、固定件及弹性件，所述连接块设置于所述基板组件的内侧面上，并且部分面向所述第一侧壁或所述第二侧壁的内侧面设置；所述固定件设置于所述第一侧壁或所述第二侧壁上；所述弹性件的两端分别与所述连接块及所述固定件连接。

于本申请的一实施例中，所述机械臂还包括滑轨结构，所述滑轨结构设置于所述基板组件与所述第三侧壁之间，所述滑轨结构包括滑轨及滑块，所述滑轨设置在所述基板组件和所述第三侧壁中的一者上，所述滑块与所述基板组件和所述第三侧壁中的另一者连接，所述滑轨沿所述移动方向延伸设置，所述滑轨与所述滑块配合，在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁发生形变时所述基板组件相对于所述箱体滑动。