[发明专利]一种溅射离子泵烘烤装置

权利要求书

1.一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体(1)，其特征在于：所述离子泵泵体(1)的泵腔为真空腔体(121)，所述真空腔体(121)内设有抽气单元(2)，所述离子泵泵体(1)上端中部固定安装有抽气通道(3)，且所述抽气通道(3)与所述真空腔体(121)内部相通，所述抽气通道(3)上端固定连接有真空法兰(31)，所述离子泵泵体(1)的真空腔体(121)内部设有烘烤加热器(4)。

2.根据权利要求1所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述烘烤加热器(4)为铠装加热器、电热丝加热器、陶瓷加热器和半导体热敏电阻加热器中的一种。

3.根据权利要求2所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述烘烤加热器(4)从所述离子泵泵体(1)的外部引入所述离子泵泵体(1)内，且所述烘烤加热器(4)可以引入一根或多根。

4.根据权利要求3所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述烘烤加热器(4)与所述离子泵泵体(1)的内壁能够选择接触或不接触。

5.根据权利要求1所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述离子泵泵体(1)的外形为多面体。

6.根据权利要求1所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述离子泵泵体(1)包括泵壳(11)和内泵体(12)，所述内泵体(12)设于所述泵壳(11)内，所述真空腔体(121)位于所述内泵体(12)的内部。

7.根据权利要求1所述的溅射离子泵烘烤装置，其特征在于，所述烘烤加热器(4)的形状为丝、棒、带、环或弹簧状。