[发明专利]一种溅射离子泵烘烤装置

说明书

本发明公开了一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，离子泵泵体上端中部固定安装有抽气通道，且抽气通道与真空腔体内部相通，抽气通道上端固定连接有真空法兰，离子泵泵体的真空腔体内部设有烘烤加热器。本发明的溅射离子泵烘烤装置将烘烤加热器置于离子泵泵体的泵腔内部，烘烤加热器直接对内泵体内壁烘烤加热，烘烤效率高，且烘烤加热器远离磁体，磁体不易高温退磁，这种就可以选用磁性更强而耐温稍低的磁体，溅射离子泵的烘烤加热器位于离子泵泵体的泵腔内部，对抽气单元的烘烤加热效果显著提高。

技术领域

本发明涉及溅射离子泵的技术领域，尤其涉及一种溅射离子泵烘烤装置。

背景技术

溅射离子泵是一种清洁无油的超高真空泵，广泛应用于现代尖端技术的超高真空领域中。包括原子能、核工业、粒子加速器、航空航天、宇宙模拟、表面物理、电子工业等高技术领域。溅射离子泵的优点是：1、无油、无振动和无噪声；2、使用简单可靠、寿命长和可烘烤；3、不需要冷剂，放置方向不限；4、在超高真空下仍然有较大抽速，极限真空度高(可达到10^-9～10^-10Pa)。

请参阅图1所示，传统溅射离子泵烘烤的加热方式是将加热器5安置于泵壳11和内泵体12之间，且泵壳11和内泵体12之间还安置有磁体和导磁体，加热器5产生的热量传到泵体内部慢。烘烤效率低；加热器5紧贴磁体，容易造成磁体高温退磁，另外，加热器5置于内泵体12外部，对内泵体12内部的抽气单元2的烘烤加热效果很差。

发明内容

针对上述产生的问题，本发明的目的在于提供一种溅射离子泵烘烤装置，解决了烘烤加热器烘烤效率低，且对抽气单元烘烤加热效果差的技术问题。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种溅射离子泵烘烤装置，包括离子泵泵体，所述离子泵泵体的泵腔为真空腔体，所述真空腔体内设有抽气单元，所述离子泵泵体上端中部固定安装有抽气通道，且所述抽气通道与所述真空腔体内部相通，所述抽气通道上端固定连接有真空法兰，所述离子泵泵体的真空腔体内部设有烘烤加热器。

上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器为铠装加热器、电热丝加热器、陶瓷加热器和半导体热敏电阻加热器中的一种。

上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器从所述离子泵泵体的外部引入所述离子泵泵体内，且所述烘烤加热器可以引入一根或多根。

上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器与所述离子泵泵体的内壁能够选择接触或不接触。

上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述离子泵泵体的外形为多面图。

上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述离子泵泵体包括泵壳和内泵体，所述内泵体设于所述泵壳内，所述真空腔体位于所述内泵体的内部。

上述的一种溅射离子泵烘烤装置，其中，所述烘烤加热器的形状为丝、棒、带、环或螺旋弹簧状。

本发明由于采用上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：

1、本发明的溅射离子泵烘烤装置将烘烤加热器置于离子泵泵体的泵腔内部，烘烤加热器直接对内泵体内壁烘烤加热，烘烤效率高，且烘烤加热器远离磁体，磁体不易高温退磁，这样就可以选用磁性更强而耐温稍低的磁体。

2、本发明的溅射离子泵的烘烤加热器位于离子泵泵体的泵腔内部，对抽气单元的烘烤加热效果显著提高。

附图说明

图1是现有技术的溅射离子泵烘烤装置的内部结构示意图。

图2是本发明的溅射离子泵烘烤装置的俯视图。

图3是本发明的溅射离子泵烘烤装置的内部结构示意图。