[发明专利]一种直线式固晶机及固晶方法在审
申请号: | 202011561757.X | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112635367A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 王仕初;李奇林;王双文 | 申请(专利权)人: | 深圳双十科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 王海骏 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直线 式固晶机 方法 | ||
1.一种直线式固晶机,其特征在于,包括沿X轴方向依次设置的支架上料工位、支架调整工位、点胶工位、固晶工位和下料工位,以及支架移送机构;所述支架移送机构用于将支架从所述支架上料工位依次移送到所述支架调整工位、所述点胶工位、所述固晶工位和所述下料工位;
还包括支架调整机构、第一视觉定位机构、点胶机构、第二视觉定位机构、芯片上料工位、第三视觉定位机构、芯片移送机构和控制器;
所述支架调整机构用于对位于所述支架调整工位的所述支架进行位置调整;
所述第一视觉定位机构用于对位于所述点胶工位的所述支架进行视觉定位;
所述点胶机构用于对位于所述点胶工位的所述支架点胶;
所述第二视觉定位机构用于对位于所述固晶工位的所述支架进行视觉定位;
所述芯片上料工位的旁侧设有承载有多个芯片的晶圆和对所述晶圆进行位置调整的晶圆调整机构;
所述第三视觉定位机构用于对位于所述芯片上料工位的所述芯片进行视觉定位;
所述芯片移送机构用于将位于所述芯片上料工位的所述芯片从所述晶圆上取下并放至位于所述固晶工位的所述支架的已点胶处;
所述支架移送机构、所述支架调整机构、所述第一视觉定位机构、所述点胶机构、所述第二视觉定位机构、所述晶圆调整机构、所述第三视觉定位机构和所述芯片移送机构均与所述控制器电连接并受其控制。
2.根据权利要求1所述的直线式固晶机,其特征在于,还包括用于承载所述支架的轨道;所述轨道沿X轴方向延伸;所述支架上料工位、所述支架调整工位、所述点胶工位、所述固晶工位和所述下料工位沿所述轨道依次设置;
所述支架移送机构包括第一移送组件和第二移送组件;
所述第一移送组件用于将所述支架从所述支架上料工位移送到所述支架调整工位;
所述第二移送组件用于将所述支架从所述支架调整工位依次移送到所述点胶工位、所述固晶工位和所述下料工位;
所述第一移送组件包括第一推板和用于带动所述第一推板沿X轴方向移动的推板移动组件;所述第一推板设于位于所述支架上料工位的所述支架背离所述支架调整工位的一侧;所述推板移动组件和所述第二移送组件均与所述控制器电连接并受其控制。
3.根据权利要求2所述的直线式固晶机,其特征在于,所述轨道包括均沿X轴方向延伸的第一导轨、第二导轨和第三导轨;
所述第二导轨对应所述支架上料工位设置;所述第二导轨和所述第一导轨沿Y轴方向依次设置;所述第二导轨和所述第三导轨沿X轴方向依次设置;所述第二导轨和所述第一导轨的间距与所述支架的宽度适配;所述第三导轨和所述第一导轨的间距大于所述支架的宽度;
所述第三导轨具有用于支撑所述支架的第一支撑面和沿X轴方向延伸的竖直面;所述竖直面设于所述第一支撑面的上方且与所述第一支撑面连接;
所述第一导轨固设有第一限位板;所述第一限位板设于所述第一导轨和所述第三导轨之间;所述第一限位板设有与所述支架配合的过槽;所述第一限位板和所述第二导轨朝向彼此的端面之间的距离小于所述支架的长度;
所述支架调整机构包括第二推板和用于带动所述第二推板沿Y轴方向移动的支架调整气缸;所述第二推板与所述支架调整气缸的活动端固连;所述第二推板设于位于所述支架调整工位的所述支架朝向所述第一导轨的一侧。
4.根据权利要求3所述的直线式固晶机,其特征在于,所述第二移送组件包括直线电机;所述直线电机包括沿X轴方向延伸的定子和沿X轴方向依次设置的三个动子;三个动子分别设置于所述支架调整工位和所述点胶工位之间、所述点胶工位和所述固晶工位之间、所述固晶工位和所述下料工位之间;
所述动子固设有用于夹持所述支架的电动夹子;所述电动夹子包括上下分布的两个夹板;位于下方的所述夹板的夹持面与所述第一支撑面共面;
所述直线电机和所述电动夹子均与所述控制器电连接并受其控制。
5.根据权利要求3所述的直线式固晶机,其特征在于,所述第一限位板对应所述点胶工位设置。
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