[发明专利]一种直线式固晶机及固晶方法在审
申请号: | 202011561757.X | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112635367A | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 王仕初;李奇林;王双文 | 申请(专利权)人: | 深圳双十科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人: | 王海骏 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直线 式固晶机 方法 | ||
本发明涉及一种直线式固晶机及固晶方法,直线式固晶机包括支架上料工位、支架调整工位、点胶工位、固晶工位和下料工位,以及支架移送机构;还包括支架调整机构、第一视觉定位机构、点胶机构、第二视觉定位机构、芯片上料工位、第三视觉定位机构、芯片移送机构和控制器;芯片上料工位的旁侧设有承载有多个芯片的晶圆和对晶圆进行位置调整的晶圆调整机构;通过点胶的精准度、待取芯片的位置的精准度、芯片放置的精准度三个方面的提升,极大地提高了固晶精度。
技术领域
本发明涉及固晶机技术领域,更具体地说,涉及一种直线式固晶机及固晶方法。
背景技术
固晶机是一种用于将芯片粘贴到支架上的机器,工作时,一般需先在支架上点胶,再将芯片从晶圆上取下,然后将芯片放在支架上的胶水上,胶水凝固后,芯片便粘贴在了支架上。
虽然现有的固晶机的各个方面都已经非常成熟,但其固晶精度较低。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种直线式固晶机及一种固晶方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一方面,本发明提供了一种直线式固晶机,其中,包括沿X轴方向依次设置的支架上料工位、支架调整工位、点胶工位、固晶工位和下料工位,以及支架移送机构;
所述支架移送机构用于将支架从所述支架上料工位依次移送到所述支架调整工位、所述点胶工位、所述固晶工位和所述下料工位;
还包括支架调整机构、第一视觉定位机构、点胶机构、第二视觉定位机构、芯片上料工位、第三视觉定位机构、芯片移送机构和控制器;
所述支架调整机构用于对位于所述支架调整工位的所述支架进行位置调整;
所述第一视觉定位机构用于对位于所述点胶工位的所述支架进行视觉定位;
所述点胶机构用于对位于所述点胶工位的所述支架点胶;
所述第二视觉定位机构用于对位于所述固晶工位的所述支架进行视觉定位;
所述芯片上料工位的旁侧设有承载有多个芯片的晶圆和对所述晶圆进行位置调整的晶圆调整机构;
所述第三视觉定位机构用于对位于所述芯片上料工位的所述芯片进行视觉定位;
所述芯片移送机构用于将位于所述芯片上料工位的所述芯片从所述晶圆上取下并放至位于所述固晶工位的所述支架的已点胶处;
所述支架移送机构、所述支架调整机构、所述第一视觉定位机构、所述点胶机构、所述第二视觉定位机构、所述晶圆调整机构、所述第三视觉定位机构和所述芯片移送机构均与所述控制器电连接并受其控制。
本发明所述的直线式固晶机,其中,还包括用于承载所述支架的轨道;所述轨道沿X轴方向延伸;所述支架上料工位、所述支架调整工位、所述点胶工位、所述固晶工位和所述下料工位沿所述轨道依次设置;
所述支架移送机构包括第一移送组件和第二移送组件;
所述第一移送组件用于将所述支架从所述支架上料工位移送到所述支架调整工位;
所述第二移送组件用于将所述支架从所述支架调整工位依次移送到所述点胶工位、所述固晶工位和所述下料工位;
所述第一移送组件包括第一推板和用于带动所述第一推板沿X轴方向移动的推板移动组件;所述第一推板设于位于所述支架上料工位的所述支架背离所述支架调整工位的一侧;所述推板移动组件和所述第二移送组件均与所述控制器电连接并受其控制。
本发明所述的直线式固晶机,其中,所述轨道包括均沿X轴方向延伸的第一导轨、第二导轨和第三导轨;
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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