[发明专利]一种靶材再生处理及粘靶方法

权利要求书

1.一种靶材再生处理及粘靶方法，其特征在于，具体步骤依次为：冷校正、金属化、线切割、靶材除油、靶材粘接、热校正和靶面整理；

所述冷校正具体 为：将新铜板或使用后的铜板放置于泊重量具上，铜板四周对称上满F夹，使用50KG铜/铝块 平压在铜板上，72小时后，使用塞尺检查铜板与量具间隙，小于0.5mm则判定可以；

所述金属化具体 为：用喷砂的方法处理备铟面粗糙度，并擦拭干净；给铜板加温220摄氏度以上，靶材加温每 40度保持半小时，之后均匀放少许铟；用角磨机或超声波做金属化，用铲刀检查有无空穴； 金属化之后降温备用；

所述线切割具体为：对第二次及第三次备使用的靶材使用线切割机切割，铜背板上设置有靶材组，靶材组由四段靶材呈一字型紧密排列，靶材组的两端分别设有靶头，第一次使用后在靶材上形成第一溅射槽，靶材左半部和靶材右半部为四段靶材中的任一段切割后的左右两半部分，第二次使用时将靶材左半部水平旋 转180度，靶材右半部也同时旋转180度，第二次使用后在靶材上形成第二溅射槽，第三次使用时将靶材左半部左端的左边角以及靶材右半部右端的右边角沿着第二溅射槽进行切割，然后分别放置在切割后的靶材左半部的右端以及靶材 右半部的左端，第三次使用后在靶材上形成第三溅射槽；

所述靶材除油具 体为：用酒精擦拭掉油泥，再通过超声波清洗机除油，放入弱碱性溶液，温度100摄氏度，待清洗机内清洗液无油性物质时，用水及酒精擦拭干净后，置于粘靶炉上，将残留油气蒸发；

所述靶材粘接具体为：将金属化后的靶材和铜背板置于粘靶炉上预热，粘接面朝上，待铟熔化后，用铲刀检 查金属化是否符合要求无空穴，并清除铜板上的旧靶材，利用超声扫描靶材和铜板间的气 泡是否符合要求；在铜板上按靶片接缝预贴耐高温胶布，刮去靶材备铟面氧化物，按靶材定 位方案粘接，按靶材粘接热态下横向参考间隙使用塞尺给靶材接缝预留间隙，靶材冷却后 间隙为0 .01～0 .10mm；

所述热校正具体 为：每40度保持半小时，降温，待降温至140度以下时，铟凝固，用20kg铁块压住靶材，铁块和 靶材间用绝缘板间隔，并对称上满F夹，逐步降温至常温；靶材缝隙中的铟及时清除，根据铟 熔化和凝固两种状态进行两次清除，熔化时使用600目砂纸从缝隙中勾掉符铟，在凝固点时 再用0 .1mm专用间隙片轻轻勾掉剩余的铟；

所述靶面整理具 体为：新靶粘接后，使用600目水砂纸打磨掉残留在靶面上的细小铟点，再生靶使用角磨机 抛光处理，先用Φ100的切割片打磨靶材表面氧化点及ITO粉尘，再用60目的抛光片对靶材 表面抛光，最后用320目抛光片对溅射跑道精处理；铜板侧面先用刀片轻轻刮去铟点，再用 600目细砂纸打磨掉残留铟点和氧化物；铜板密封面先用刀片平面接触密封面，轻轻刮去铟 点，再均匀喷洒适量酒精，用600目水砂纸进行手动打磨抛光，最后再用酒精擦拭干净。