[发明专利]一种靶材再生处理及粘靶方法

说明书

本发明提供了一种靶材再生处理及粘靶方法，具体步骤依次为：冷校正、金属化、线切割、靶材除油、靶材粘接、热校正和靶面整理。本发明的有益效果在于：利用泊重量具对铜板进行校正，提高了铜板的平整度；ITO平面靶材使用后利用线切割机切割，一分为二，调换位置再生使用，二次使用后再切割后拼接使用第三次，使得靶材的利用率提升了3倍；粘靶时，通过高温下带铟打磨靶材及铜背板，使铟与之融合，提升了粘靶牢固性；通过耐高温胶布、塞尺、600目砂纸、专用间隙片、抛光片，有效隔离了铟并去除了残留铟。

技术领域

本发明涉及靶材技术领域，尤其涉及一种靶材再生处理及粘靶方法。

背景技术

ITO平面靶材为小段拼接粘贴于铜背板上使用的材料，铜板的平整度不仅影响着靶材溅射均匀性，还可能使其受热变形炸裂。

目前，靶材的一次利用率低至25%，通常存在以下情况：1、靶材在使用后不能得到合理的处置再生利用，造成很大浪费；2、再生处理方式不当，再利用率较低；3、再生处理时粘靶不牢固，镀膜时铟受热流出，靶材在箱体内脱落；4、再生处理过程中，不能有效隔离钎焊所使用的铟，造成镀膜时铟溅射异常，或镀膜时靶材受热不均而炸裂。

发明内容

为解决上述问题，本发明公开了一种靶材再生处理及粘靶方法，不仅提高了铜板的平整度，而且提升了靶材的利用率以及粘靶牢固性，有效隔离了铟并去除了残留铟。

具体方案如下：

一种靶材再生处理及粘靶方法，其特征在于，具体步骤依次为：冷校正、金属化、线切割、靶材除油、靶材粘接、热校正和靶面整理。

作为本发明的进一步改进，所述冷校正具体为：将新铜板或使用后的铜板放置于泊重量具上，铜板四周对称上满F夹，使用50KG铜/铝块平压在铜板上，72小时后，使用塞尺检查铜板与量具间隙，小于0.5mm则判定可以。

作为本发明的进一步改进，所述金属化具体为：用喷砂的方法处理备铟面粗糙度，并擦拭干净；给铜板加温220摄氏度以上，靶材加温每40度保持半小时，之后均匀放少许铟；用角磨机或超声波做金属化，用铲刀检查有无空穴；金属化之后降温备用。（新靶材和新铜板可直接做金属化，使用后的靶材和铜板可置于220摄氏度以上（每升温40度保持半小时，以免受热过快炸裂）的粘靶炉上将铟加热后取下再做金属化）。

作为本发明的进一步改进，所述线切割具体为：对第二次及第三次备使用的靶材使用线切割机切割。此步骤是为了得到所需规格的靶材：用钼丝作为工具电极，对工作件进行火花放电，工件在数控装置或计算机控制下自动的按程序确定的轨迹运动。

作为本发明的进一步改进，所述靶材除油具体为：用酒精擦拭掉油泥，再通过超声波清洗机除油，放入弱碱性溶液，温度100摄氏度，待清洗机内清洗液无油性物质时，用水及酒精擦拭干净后，置于粘靶炉上，将残留油气蒸发。

作为本发明的进一步改进，所述靶材粘接具体为：将金属化后的靶材和铜背板置于粘靶炉上预热，粘接面（附铟面）朝上，待铟熔化后，用铲刀检查金属化是否符合要求无空穴，并清除铜板上的旧靶材，利用超声扫描靶材和铜板间的气泡是否符合要求（无气泡或小于0.1mm判定ok）；在铜板上按靶片接缝预贴耐高温胶布，刮去靶材备铟面氧化物，按靶材定位方案粘接，按靶材粘接热态下横向参考间隙使用塞尺给靶材接缝预留间隙，间隙的大小取决于靶材的大小和铜背板长短的收缩量，靶材冷却后间隙为0.01～0.10mm。

作为本发明的进一步改进，所述热校正具体为：每40度保持半小时，降温，待降温至140度以下时，铟凝固，用20kg铁块压住靶材，铁块和靶材间用绝缘板间隔，并对称上满F夹，逐步降温至常温；靶材缝隙中的铟及时清除，根据铟熔化和凝固两种状态进行两次清除，熔化时使用600目砂纸从缝隙中勾掉符铟，在凝固点时再用0.1mm专用间隙片轻轻勾掉剩余的铟。