[发明专利]用于热敏相机焦距检测的标片制作方法、标片及检测方法有效
申请号: | 202011563370.8 | 申请日: | 2020-12-25 |
公开(公告)号: | CN112687567B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 崔俊虎;袁地春;沈磊磊;丁建明;崔钟亨 | 申请(专利权)人: | 韩华新能源(启东)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 樊晓娜 |
地址: | 226200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 热敏 相机 焦距 检测 制作方法 方法 | ||
1.一种用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,以第一方法、第二方法和第三方法制备标片,包括如下步骤:
(1)第一方法制备标片:取经过前道工序且在正面镀膜工序前制备得到的硅片,在硅片正面中心位置沾金属粉末,然后对沾有金属粉末的硅片进行正面镀膜以及正面镀膜后的多个工序处理,制备得到的电池片为标片,在加载反向电压下,所述标片的中心位置漏电;
(2)第二方法制备标片:取经过前道工序且在完成丝网印刷的硅片正面中心位置涂覆预设厚度的导电浆液或沾金属粉末,再经过烧结,烧结后制备得到的电池片为标片,所述标片中心位置形成导电层,在加载反向电压下,所述标片的中心位置漏电;
(3)第三方法制备标片:取经过前道工序且完成边缘刻蚀后的硅片,省略正面镀膜工序,直接对硅片进行丝网印刷处理,再在制备得到的硅片正面中心位置沾金属粉末或涂覆预设厚度的导电浆液,然后对硅片进行烧结,烧结后制备得到的硅片为标片,在加载反向电压下,所述标片的中心位置漏电。
2.根据权利要求1所述的用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,所述第一方法、第二方法和第三方法中,所述金属粉末为铝粉或铁锈粉。
3.根据权利要求1所述的用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,所述第二方法和第三方法中,所述导电浆液为铝浆或银铝混合浆。
4.根据权利要求1所述的用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,所述第二方法和第三方法中,所述标片(1)中心位置的导电浆液的厚度小于0.1mm。
5.根据权利要求1所述的用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,所述导电层(2)为圆形、三角形、方形、菱形或任意形状结构。
6.根据权利要求1所述的用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,所述第一方法:硅片进行正面镀膜前的前道工序依次为制绒、扩散、边缘刻蚀、热氧化、背钝化;对硅片正面镀膜后的多个工序依次为激光、丝网印刷和烧结。
7.根据权利要求1所述的用于热敏相机焦距检测的标片的制作方法,其特征在于,所述第二方法中,对硅片进行丝网印刷前的工序依次为制绒、扩散、边缘刻蚀、镀膜;所述第二方法和第三方法中,丝网印刷处理后通过涂浆刮刀在硅片正面中心位置涂覆导电浆液。
8.一种由权利要求1-7中任意一项所述的用于热敏相机焦距的标片的制作方法制备得到的标片,其特征在于,在加载反向电压下,所述标片的中心位置导电。
9.一种热敏相机焦距检测方法,其特征在于,将权利要求8中所述的标片放置在传输轨道上,所述标片随传输轨道移动至检测工位后,测试系统提供反偏电压,不断调整相机焦距,当标片中心漏电的输出温度值达到最大时,则热敏相机焦距无异常,此时标片中心漏电的输出温度值为标定值;若否,则热敏相机焦距异常;
所述标定值确认的具体过程为:测试系统通过探针对标片施加从0至16.5V反向电压,在施加反向电压前后使用热敏相机分别测量标片的温度,此差值为标片中心漏电的输出温度值。
10.根据权利要求9所述的热敏相机焦距检测方法,其特征在于,所述标片还用于验证其他热敏相机,当标片中心漏电的输出温度值与标定值相同或在预设的偏差范围内,则热敏相机焦距无异常;若标片中心漏电的输出温度值超出预设的偏差范围,则热敏相机焦距异常。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造