[发明专利]一种金属电极结构的实现方法在审
| 申请号： | 202011575601.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112701039A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张宏伟;栗锐;陈征;柏松;杨勇;费晨曦 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H01L21/3213 | 分类号： | H01L21/3213;H01L21/28 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属电极 结构 实现 方法 | ||
1.一种金属电极结构的实现方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在金属表面涂覆光刻胶，并光刻形成掩膜；所述金属电极由钛金属和铝金属组成；
(2)将光刻后的圆片传入单片式喷雾腐蚀系统，封闭腔体；
(3)使用铝腐蚀液喷雾腐蚀铝金属；
(4)使用去离子水将残留在圆片表面的铝腐蚀液冲洗干净；
(5)使用稀释氢氟酸喷雾腐蚀钛金属；
(6)使用去离子水将残留在圆片表面的稀释氢氟酸冲洗干净；
(7)再次使用铝腐蚀液喷雾腐蚀铝金属；
(8)使用去离子水将残留在圆片表面的铝腐蚀液冲洗干净；
(9)将圆片甩干脱水；
(10)打开腔体，将腐蚀后的圆片传出；
(11)使用有机溶液去除圆片表面的光刻胶。
2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述钛金属在底层，厚度为50-500nm；所述铝金属在顶层，厚度为1-10um。
3.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于，最终得到的电极结构，为底层钛金属边缘超出顶层铝金属边缘至少0.1um。
4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述光刻胶为正胶。
5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述铝腐蚀液为磷酸、硝酸、醋酸和去离子水的混合溶液，其中各组分的摩尔比为，磷酸：硝酸：醋酸：水＝1-60：1-40：1-30：1-80。
6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述稀释氢氟酸为氢氟酸与去离子水的混合溶液，其中各组分的摩尔比为，氢氟酸：水＝1-30：170。
7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，步骤(3)中喷液时间为10-500秒，步骤(5)中喷液时间为10-500秒，步骤(7)中喷液时间为1-300秒。
8.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述铝腐蚀液温度控制在40-90℃，所述稀释氢氟酸温度控制在10-50℃。
9.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，圆片转速在0～2500R/min。
10.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，溶液、去离子水以及氮气的喷嘴是可设置位置以及动作。
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