[发明专利]薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法

权利要求书

1.一种薄膜沉积掩模组件，包括：

第一掩模，其包括第一基础构件和设置在所述第一基础构件中并且彼此间隔开的多个开口；以及

第一框架，其保持所述第一掩模，

其中，所述第一掩模的所述多个开口包括布置在奇数列中的多个第一开口和布置在偶数列中的多个第二开口，以及

在所述多个第二开口中，布置在第n个偶数列中的单个第二开口被布置在所述多个第一开口中的在与垂直于列方向的行方向对应的第一方向上布设并且布置在第(n-1)个列和第(n+1)个列中的至少一列中的两个第一开口之间，其中n是等于或者大于2的自然数。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积掩模组件，其中，在所述多个第二开口中，布置在所述第n个偶数列中的所述单个第二开口被布置在与所述第一方向垂直的第二方向上布设的两个第一开口之间，这两个第一开口中的一个第一开口被布置在第(n-1)个列中，并且这两个第一开口中的另一个第一开口被布置在第(n+1)个列中。

3.根据权利要求1所述的薄膜沉积掩模组件，其中，从在所述第一方向上布设的所述多个第一开口中的最外侧的第一开口到所述第一掩模的边缘的在所述第一方向上的距离小于从在所述第一方向上布设的所述多个第二开口中的最外侧的第二开口到所述第一掩模的边缘的在所述第一方向上的距离。

4.根据权利要求1所述的薄膜沉积掩模组件，其中，从在所述第二方向上布置的所述多个第一开口中的最外侧的第一开口到所述第一掩模的边缘的在所述第二方向上的距离小于从在所述第二方向上布置的所述多个第二开口中的最外侧的第二开口到所述第一掩模的边缘的在所述第二方向上的距离。

5.根据权利要求1所述的薄膜沉积掩模组件，其中，所述多个第一开口和所述多个第二开口具有相对应的形状。

6.根据权利要求1所述的薄膜沉积掩模组件，其中，在所述第一方向上的所述多个第一开口的相邻第一开口之间的第一距离与在所述第一方向上的所述多个第二开口的相邻第二开口之间的第二距离相同，以及

在与所述第一方向相交的第二方向上的所述多个第一开口的相邻第一开口之间的第三距离与在所述第二方向上的所述多个第二开口的相邻第二开口之间的第四距离相同。

7.根据权利要求6所述的薄膜沉积掩模组件，其中，所述第一距离和所述第二距离中的每一个大于所述第三距离和所述第四距离中的每一个。

8.根据权利要求6所述的薄膜沉积掩模组件，其中，所述第一距离和所述第二距离在从50μm到150μm的范围内，并且所述第三距离和所述第四距离在10μm到100μm的范围内。

9.根据权利要求6所述的薄膜沉积掩模组件，其中，所述第一距离和所述第二距离中的每一个大于所述多个第一开口和所述多个第二开口中的每一个的长边的长度，以及

所述第三距离和所述第四距离中的每一个等于或者大于所述多个第一开口和所述多个第二开口中的每一个的长边的长度。

10.一种薄膜沉积掩模组件，包括：

第二掩模，其包括第二基础构件和设置在所述第二基础构件中并且彼此间隔开的多个开口；以及

第二框架，其保持所述第二掩模，

其中，所述第二掩模的所述多个开口包括布置在奇数列中的多个第三开口和布置在偶数列中的多个第四开口，以及

在所述多个第三开口中，布置在第m个奇数列中的单个第三开口被布置在所述多个第四开口中的在与垂直于列方向的行方向对应的第一方向上布设并且布置在第(m+1)个列中的两个第四开口之间，其中m是等于或者大于1的自然数。