[发明专利]薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法

说明书

提供了薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法。第一掩模包括布置在奇数列中的多个第一开口和布置在偶数列中的多个第二开口。多个第二开口中的布置在第n个偶数列中的单个第二开口被布置在多个第一开口中的在与垂直于列方向的行方向对应的第一方向上布设并且布置在第(n‑1)个列和第(n+1)个列中的至少一列中的两个第一开口之间，其中n是等于或者大于2的自然数。防止了第一掩模下垂。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年12月31日提交的韩国专利申请第10-2019-0179756号的优先权，在此出于所有目的将其通过引用并入，如同在本文中完全阐述一样。

技术领域

实施方式涉及薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法，并且更特别地，涉及能够有助于设置在高清晰度、小尺寸的有机发光显示面板中的有机层的沉积的薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法。

背景技术

通常，有机材料沉积装置是用于通过在真空状态下对要被沉积的有机材料施加电流来在基板上制造有机材料的膜的装置。有机材料沉积装置使用掩模来在基板上形成有机膜的期望形状。当在具有预定面积或较大面积的大基板上沉积有机材料时，可以使用具有高水平的耐用性和强度的金属掩模来以期望的图案可靠地沉积有机材料。

精细金属掩模(FMM)是用于在大基板上沉积有机材料的精细图案的掩模。

精细金属掩模的使用允许在单个操作中在基板的预定位置上制造有机材料的多个期望的精细图案。精细金属掩模可以具有多个矩形窄缝或条状狭缝来以期望的图案沉积有机材料，有机材料穿过所述多个矩形窄缝或条状狭缝。

发明内容

在高清晰度有机发光显示面板中，发射区域的尺寸减小，使得必须减小设置在精细金属掩模中的多个矩形窄缝的尺寸。然而，问题在于，形成与高清晰度有机发光显示面板的发射区域的尺寸相对应的精细窄缝的过程可能是困难的。

另外，具有多个狭缝的精细金属掩模可以包括设置在多个狭缝之间的肋。在精细金属掩模的多个狭缝沿预定方向延伸的情况下，设置在多个狭缝之间的肋的面积可能减小，使得掩模可能下垂。

具有多个狭缝的精细金属掩模可以获得比具有多个窄缝的精细金属掩模的开口率高的开口率。然而，当与掩模的最外侧的狭缝相邻的肋的部分在有机层沉积装置中下垂时，与掩模的最外侧的狭缝相邻的狭缝区域可能不会在有机层沉积期间适当地进行掩模处理，由此导致有机层沉积中的缺陷。

在这方面，本公开内容的发明人已经发明了能够克服上述问题的薄膜沉积掩模组件的新型结构及使用其制造有机发光显示面板的新型方法。

本公开内容的目的是提供具有能够防止掩模在诸如有机发光二极管(OLED)的有机发光装置的有机层的沉积中下垂的结构的薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法。

本公开内容的目的是提供具有即使在有机发光显示面板具有相对小的发射区域的情况下仍能够制造OLED的有机层的结构的薄膜沉积掩模组件及使用其制造有机发光显示面板的方法。

本公开内容的目的不限于前述描述，并且本公开内容所属的技术领域普通技术人员将根据下文中提供的描述中清楚地理解本文中未明确公开的其他目的。

根据实施方式，提供了薄膜沉积掩模组件，其具有能够防止掩模下垂并且能够沉积用于高清晰度有机发光显示面板中的OLED的有机层的结构。薄膜沉积掩模组件包括：第一掩模，其包括第一基础构件和设置在第一基础构件中并且彼此间隔开的多个开口；以及第一框架，其保持第一掩模。第一掩模的多个开口可以包括布置在奇数列中的多个第一开口和布置在偶数列中的多个第二开口。在多个第二开口中，设置在第n个偶数列中的单个第二开口可以布置在多个第一开口中的在第一方向上布设并且布置在第(n-1)个列和第(n+1)个列中的至少一列中的两个第一开口之间，其中n是等于或者大于2的自然数。