[发明专利]一种坩埚盖及坩埚在审
| 申请号： | 202011586764.5 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114686819A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 罗顺松 | 申请（专利权）人： | TCL科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 徐凯凯 |
| 地址： | 516006 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
1.一种坩埚盖，其特征在于，包括坩埚盖本体以及设置在所述坩埚盖本体上的加热棒组件。
2.根据权利要求1所述的坩埚盖，其特征在于，所述加热棒组件包括至少两根加热棒，所述加热棒设置在所述坩埚盖本体上且与所述坩埚盖本体呈任意夹角。
3.根据权利要求2所述的坩埚盖，其特征在于，所述坩埚盖本体上设置有出气孔，所述加热棒间隔设置在所述出气孔的外延伸边上。
4.根据权利要求2所述的坩埚盖，其特征在于，所述坩埚盖本体为圆环形板状结构，所述圆环形板状结构的内圆为所述出气孔，所述加热棒成环形阵列设置在所述圆环形板状结构的内圆与外圆之间的位置。
5.根据权利要求4所述的坩埚盖，其特征在于，所述加热棒组件包括3n根加热棒，所述n为大于等于1的整数。
6.根据权利要求5所述的坩埚盖，其特征在于，所述加热棒组件包括6根加热棒，所述6根加热棒的顶部连线形成以所述出气孔为中心的正六边形。
7.根据权利要求5所述的坩埚盖，其特征在于，所述加热棒组件包括3根加热棒，所述3根加热棒的顶部连线形成以所述出气孔为中心的正三角形。
8.根据权利要求2所述的坩埚盖，其特征在于，相邻加热棒之间通过弧形金属段连接。
9.根据权利要求8所述的坩埚盖，其特征在于，3根或3根以上数量的加热棒中，相邻加热棒之间在同一平面通过弧形金属段连接，位于同一平面的所述弧形金属段连接后形成金属环。
10.根据权利要求8所述的坩埚盖，其特征在于，每两个加热棒之间通过U型金属段连接，形成一根U型加热棒。
11.根据权利要求2所述的坩埚盖，其特征在于，所述加热棒上设置有用于实时采集待蒸镀的粉体材料温度的热电偶。
12.一种坩埚，其特征在于，包括坩埚本体以及与所述坩埚本体适配的如权利要求1-11任一所述的坩埚盖。
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