[发明专利]一种坩埚盖及坩埚

说明书

本发明公开一种坩埚盖及坩埚，其中，所述坩埚盖包括坩埚盖本体以及设置在所述坩埚盖本体上的加热棒组件。本发明通过在所述坩埚盖本体上设置有加热棒组件，所述坩埚盖在坩埚加热时，所述加热棒组件也一并加热，由于所述加热棒组件可插入粉体材料中，使得位于坩埚内中心的粉体材料也能与加热源充分接触，从而提高了粉体材料的受热面积，使其受热更加均匀稳定；并且所述加热棒组件还可将所述坩埚盖本体一并加热，有效避免粉体材料在升华过程中冷凝堵孔；进一步地，所述加热棒组件作为热源后，提高了粉体材料的加热效率。

技术领域

本发明涉及发光器件的坩埚设备领域，尤其涉及一种坩埚盖及坩埚。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)是新一代的显示技术，因其色彩艳丽、能耗低、响应快，作为显示技术在移动设备上得到了广泛的应用。OLED之所以能发光，其核心在于用于发光层的有机材料。发光层中，电子和空穴注入后复合形成激子，使得发光层有机分子外层的电子由基态跃迁到激发态，由于处于激发态的电子极其不稳定，其会向基态跃迁，在跃迁的过程中会有能量以光的形式被释放出来，进而实现了器件的发光。

目前移动设备上普遍的OLED结构AMOLED，在TFT背板上依次沉积各种有机发光材料形成R、G、B三原色的多层三明治结构，通过TFT调节发光亮度，得到不同的三原色比例，然后发出各种各样的颜色。

目前OLED所存在的问题为制作工艺复杂，成本高，良率低等，主要表现在发光层材料成膜全部由真空蒸镀工艺完成，而且蒸镀工艺要求精度高，蒸镀速率稳定。目前导致OLED蒸镀速率不稳定的一个重要因素为部分发光层材料为升华型材料，材料粉体在加热以后不会熔融成液体，而是直接蒸发成气体蒸镀到基板上，这个过程中，由于粉体本身导热性能差，往往造成了与蒸镀所用的坩埚接触部分的温度高，粉体中心温度低，受热不均，因此速率不均匀，甚至会存在局部过热导致材料分解的情况，降低了薄膜的质量。

导致蒸镀速率不均匀的另一个重要原因为，坩埚本身的受热不均。主流的OLED材料坩埚电阻丝加热方式难以将整个坩埚加热均匀，往往在材料蒸汽出口的地方温度较低，材料易产生凝结，形成最后堵孔，导致蒸汽出不来，速率不稳定，薄膜质量差。

因此现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种坩埚盖及坩埚，旨在解决现有坩埚无法对粉体材料进行均匀加热，导致粉体材料蒸镀速率不稳定的问题。

本发明的技术方案如下：

一种坩埚盖，其中，包括坩埚盖本体以及设置在所述坩埚盖本体上的加热棒组件。

所述的坩埚盖，其中，所述加热棒组件包括至少两根加热棒，所述加热棒设置在所述坩埚盖本体上且与所述坩埚盖本体呈任意夹角。

所述的坩埚盖，其中，所述坩埚盖本体上设置有出气孔，所述加热棒间隔设置在所述出气孔的外延伸边上。

所述的坩埚盖，其中，所述坩埚盖本体为圆环形板状结构，所述圆环形板状结构的内圆为所述出气孔，所述加热棒成环形阵列设置在所述圆环形板状结构的内圆与外圆之间的位置。

所述的坩埚盖，其中，所述加热棒组件包括3n根加热棒，所述n为大于等于1的整数。

所述的坩埚盖，其中，所述加热棒组件包括6根加热棒，所述6根加热棒的顶部连线形成以所述出气孔为中心的正六边形。

所述的坩埚盖，其中，所述加热棒组件包括3根加热棒，所述3根加热棒的顶部连线形成以所述出气孔为中心的正三角形。

所述的坩埚盖，其中，相邻加热棒之间通过弧形金属段连接。