[发明专利]一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房

说明书

本发明公开了一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体、净化空调系统、更衣室、净化箱、毛刷和第二过滤网，所述厂房主体内部的底端安装有净化空调系统，所述厂房主体一端的侧壁安装有更衣室，所述更衣室的顶端安装有底座，且底座的顶端安装有净化箱，所述净化箱的一端侧壁安装有进气管，且进气管远离净化箱的一端与更衣室的顶端相连接，所述净化箱远离进气管的一端侧壁安装有排气管，且排气管远离进气管的一端与更衣室的顶端相连接。该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，通过挤压铰接杆进行往复左右移动，从而使挤压板可以带动保护垫来对第二过滤网进行挤压固定，从而便于操作人员对第二过滤网进行安装和拆卸。

技术领域

本发明涉及氮化镓半导体生产技术领域，具体为一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房。

背景技术

随着社会的发展，科学的进步，氮化镓是氮和镓的化合物，氮化镓半导体多数运于发光二极管中，此化合物结构类似纤锌矿，硬度很高，氮化镓的能隙很宽，为3.4电子伏特，可以用在高功率、高速的光电元件中，例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管，可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下，产生紫光激光，在对氮化镓半导体进行生产时，需要在洁净厂房内部进行生产；

对比该CN210713990U一种洁净厂房，通过厂房内设置边跨洁净室，边跨洁净室与核心洁净室既可以共用介于两者之间的回风夹道，即核心洁净室回风夹道，也可以在边跨洁净室远离核心洁净室的一侧与厂房本体的墙体之间设置用于连通边跨洁净室上夹层与边跨洁净室下夹层的边跨洁净室回风夹道，用于边跨洁净室的单独回风，或者，还可以结合上述两种方案实现双侧回风；边跨洁净室所形成的洁净区域扩大了厂房内洁净区的总面积，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：

1、该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，容易造成操作人员在进入洁净厂房内部时，粉尘和杂质也同时进入洁净厂房内部，从而影响洁净厂房内氮化镓半导体的生产效果；

2、该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，在长时间的使用时，需要对过滤网进行更换和维修，使操作人员在对过滤网进行更换和维修时，带来不便。

发明内容

本发明的目的在于提供一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，以解决上述背景技术中提出的容易造成操作人员在进入洁净厂房内部时，粉尘和杂质也同时进入洁净厂房内部与在长时间的使用时，需要对过滤网进行更换和维修的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体、净化空调系统、更衣室、净化箱、毛刷和第二过滤网，所述厂房主体内部的底端安装有净化空调系统，所述厂房主体一端的侧壁安装有更衣室，所述更衣室的顶端安装有底座，且底座的顶端安装有净化箱，所述净化箱的一端侧壁安装有进气管，且进气管远离净化箱的一端与更衣室的顶端相连接，所述净化箱远离进气管的一端侧壁安装有排气管，且排气管远离进气管的一端与更衣室的顶端相连接，所述排气管内部的顶端安装有第一过滤网，所述排气管内部的顶端安装有第二进气扇，且第二进气扇位于第一过滤网的下方，所述进气管内部远离净化箱的一端安装有第一进气扇，所述净化箱内部的四角处皆安装有固定块，所述净化箱内部的顶端和底端皆安装有固定板，且固定板一端的侧壁皆开设有凹槽，所述凹槽内部一端的侧壁安装有滑轨，且滑轨的内部设置有滑块，所述滑块的顶端安装有弹簧，且弹簧的顶端与凹槽内部的顶端相连接。

优选的，所述厂房主体和更衣室相互靠近的一端开设有过道，且过道的内部安装有开关门。

优选的，所述更衣室一侧的侧壁开设有门框，且门框一端的侧壁铰接有门板，所述门板一侧的侧壁安装有密封块，所述门框一侧的侧壁开设有密封槽，且密封槽与密封块相互卡和。

优选的，所述净化箱一侧的侧壁铰接有铰接门，且铰接门一侧的侧壁安装有把手。

优选的，所述第二进气扇的内部设置有贯穿第一过滤网的转杆，且转杆的顶端安装有套筒，所述套筒的外壁等间距安装有刮板，且刮板的底端安装有毛刷，所述毛刷的底端与第一过滤网的顶端相贴合。