[发明专利]一种阱离子注入方法在审
申请号: | 202011589507.7 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN114695093A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 张文娅;徐怀花;刘聪慧;季明华 | 申请(专利权)人: | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L21/266 | 分类号: | H01L21/266;H01L21/027;H01L21/265 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 林丽丽 |
地址: | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 离子 注入 方法 | ||
本发明提供一种阱离子注入方法,包括如下步骤:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成底部抗反射层;在所述底部抗反射层上涂敷光刻胶;在所述光刻胶上形成顶部抗反射层;图形化所述顶部抗反射层和所述光刻胶,形成具有注入窗口的掩膜;对所述掩膜进行等离子体处理,增加所述注入窗口侧壁的粗糙度,并使所述注入窗口的侧壁向外倾斜;经由所述注入窗口进行离子注入,在所述半导体衬底中形成阱区。本发明在阱离子注入前采用等离子体处理掩膜,使注入窗口的侧壁粗糙、硬化并呈现倾斜的形状,从而使侧壁处注入的离子不易落入半导体衬底中,可减少散射离子进入半导体阱区的边缘,从而有效抑制阱邻近效应,提高阱区掺杂的均匀性。
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域,特别是涉及一种阱离子注入方法。
背景技术
在半导体器件的阱离子注入工艺中,通常需要利用光刻胶作为掩膜,使离子注入到需要的区域。而在离子注入时,离子会在光刻胶上发生散射,光刻胶边缘的散射离子进入到半导体表面,从而会影响边缘区域的掺杂浓度。阱邻近效应(Well Edge-ProximityEffect,WPE)是指当晶体管位于阱掩模光刻胶边缘附近时,由于掺杂离子在光刻胶上散射而进入阱区的边缘,使得附近区域的掺杂剂量增加,从而导致晶体管的阈值电压(Vt)和其他晶体管特性随相邻阱的位置和形状发生变化。器件越靠近阱边界区域,器件的阈值电压(Vt)越高,而器件沟道到阱区边缘的距离小于3μm时,器件阈值电压(Vt)的变化更为敏感。
随着集成电路的发展,半导体器件的关键尺寸越来越小,当半导体器件的关键尺寸小于90nm后,阱邻近效应造成的问题随着半导体器件的关键尺寸的不断缩小而越来越严峻,尤其对于小尺寸的半导体器件,阱邻近效应的影响越来越大。因此,如何有效抑制阱邻近效应,已成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术,本发明的目的在于提供一种阱离子注入方法,用于解决现有技术中的种种问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种阱离子注入方法,包括如下步骤:
提供半导体衬底;
在所述半导体衬底上形成底部抗反射层;
在所述底部抗反射层上涂敷光刻胶;
在所述光刻胶上形成顶部抗反射层;
图形化所述顶部抗反射层和所述光刻胶,形成具有注入窗口的掩膜;
对所述掩膜进行等离子体处理,增加所述注入窗口侧壁的粗糙度,并使所述注入窗口的侧壁向外倾斜;
经由所述注入窗口进行离子注入,在所述半导体衬底中形成阱区。
可选地,在进行所述离子注入之前,在所述半导体衬底中形成有浅沟槽隔离结构(Shallow trench isolation,STI)。
可选地,所述底部抗反射层的厚度小于250nm。
可选地,所述顶部抗反射层的厚度小于100nm。
可选地,所述等离子体处理采用包括Ar、H、C、N、O、F、Cl中的一种或多种等离子体。
可选地,进行所述等离子体处理时对所述掩膜进行烘烤。进一步可选地,进行所述烘烤时,加热温度为100~150℃,加热时间小于120s。
可选地,所述等离子体处理使所述注入窗口的侧壁向外倾斜角度为5~15°。
可选地,在所述半导体衬底上形成底部抗反射层之前,在所述半导体衬底上形成牺牲层;所述底部抗反射层形成于所述牺牲层之上。进一步可选地,采用热氧化法形成所述牺牲层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造