[发明专利]一种自动监控等离子清洗系统有效

专利信息
申请号: 202011596280.9 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112756336B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 陈益群;陈泓翰;顾汉玉 申请(专利权)人: 宁波群芯微电子股份有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00;G01V3/00
代理公司: 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 代理人: 李兰兰
地址: 315000 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 监控 等离子 清洗 系统
【权利要求书】:

1.一种自动监控等离子清洗系统,其特征在于,包括:

等离子清洗装置(100),用于对材料表面进行去污处理;

料盒(200),用于放置待清洗的LED支架;

湿敏电阻(300),设于所述料盒(200)上;

输出检测装置(400),用于监测所述湿敏电阻(300)的阻值变化,所述输出检测装置(400)设于后续加工设备上并与后续加工设备电性连接;

阻抗转换装置(500),电性连接于所述湿敏电阻(300)与所述输出检测装置(400)之间进行阻抗转换;

连锁装置(600),用于根据所述输出检测装置(400)对所述湿敏电阻(300)的阻值判断进行对后续加工设备供电或断电,所述连锁装置(600)电性连接于所述输出检测装置(400)与后续加工设备之间;

其中,所述等离子清洗装置包括:

清洗室(110),包括正极放电部(111)和负极放电部(112);

真空泵(120),与所述清洗室(110)连接;

储气罐(130),用于储存工艺气体,所述储气罐(130)与所述清洗室(110)连接;

射频电源(140),包括正极接头(141)和负极接头(142),所述正极接头(141)与所述正极放电部(111)电性连接,所述负极接头(142)与所述负极放电部(112)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种自动监控等离子清洗系统,其特征在于,所述清洗室(110)内设有真空度传感器,所述清洗室(110)外壁上设有真空度显示屏,所述真空度传感器与所述真空度显示屏电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种自动监控等离子清洗系统,其特征在于,所述清洗室(110)包括多个正极放电部(111)和多个负极放电部(112),多个所述正极放电部(111)与多个所述负极放电部(112)交叉设置,每个所述正极放电部(111)与其相邻的每个所述负极放电部(112)之间设有用于放置所述料盒(200)的容纳腔。

4.根据权利要求1所述的一种自动监控等离子清洗系统,其特征在于,所述料盒(200)上设有用于罩住所述湿敏电阻(300)的保护罩。

5.根据权利要求4所述的一种自动监控等离子清洗系统,其特征在于,所述保护罩顶部开口设置。

6.根据权利要求4所述的一种自动监控等离子清洗系统,其特征在于,所述保护罩上设有若干通孔。

7.根据权利要求1所述的一种自动监控等离子清洗系统,还包括报警装置,所述报警装置与所述输出检测装置(400)电性连接。

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