[发明专利]一种自动监控等离子清洗系统有效

专利信息
申请号: 202011596280.9 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112756336B 公开(公告)日: 2022-12-13
发明(设计)人: 陈益群;陈泓翰;顾汉玉 申请(专利权)人: 宁波群芯微电子股份有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00;G01V3/00
代理公司: 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 代理人: 李兰兰
地址: 315000 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 监控 等离子 清洗 系统
【说明书】:

发明涉及一种自动监控等离子清洗系统,包括:等离子清洗装置、料盒、湿敏电阻、输出检测装置、阻抗转换装置和阻抗转换装置;等离子清洗装置用于对材料表面进行去污处理;料盒用于放置待清洗的LED支架;湿敏电阻设于料盒上;输出检测装置用于监测湿敏电阻的阻值变化,输出检测装置与湿敏电阻电性连接;阻抗转换装置电性连接于湿敏电阻与输出检测装置之间进行阻抗转换;连锁装置用于根据输出检测装置对湿敏电阻的阻值判断进行对后续加工设备供电或断电,连锁装置电性连接于输出检测装置与后续加工设备之间;上述清洗系统既可以监控等离子清洗是否对LED支架进行有效清洗,又可以清洗后的LED支架到后续加工设备进行下一步加工的时间进行有效管控。

技术领域

本发明涉及等离子清洗技术领域,尤其是.一种自动监控等离子清洗系统。

背景技术

等离子清洗是LED灯珠封装工艺中的关键工序,对产品品质至关重要;实际该工序生产过程是人工作业,经常会出现漏清洗的情况,造成严重的质量隐患,由于等离子清洗是利用等离子轰击支架材料表面,将一些污染物去除,表观上不会有明显的变化,无法从外观上判断是否清洗过,增加了工序监控的难度。

发明内容

本发明的目的是提供一种既可以监控等离子清洗是否对LED支架进行有效清洗,又可以清洗后的LED支架到后续加工设备进行下一步加工的时间进行有效管控的自动监控等离子清洗系统。

为了实现上述目的,本发明提供的技术方案为:一种自动监控等离子清洗系统,包括:等离子清洗装置、料盒、湿敏电阻、输出检测装置、阻抗转换装置和阻抗转换装置;

所述等离子清洗装置用于对材料表面进行去污处理;

所述料盒用于放置待清洗的LED支架;

所述湿敏电阻设于所述料盒上;

所述输出检测装置用于监测所述湿敏电阻的阻值变化,所述输出检测装置(400)设于后续加工设备上并与后续加工设备电性连接;

所述阻抗转换装置电性连接于所述湿敏电阻与所述输出检测装置之间进行阻抗转换;

所述连锁装置用于根据所述输出检测装置对所述湿敏电阻的阻值判断进行对后续加工设备供电或断电,所述连锁装置电性连接于所述输出检测装置与后续加工设备之间。

进一步地,所述等离子清洗装置包括:清洗室、真空泵、储气罐和射频电源;

所述清洗室包括正极放电部和负极放电部;

所述真空泵与所述清洗室连接;

所述储气罐用于储存工艺气体,所述储气罐与所述清洗室连接;

所述射频电源,包括正极接头和负极接头,所述正极接头与所述正极放电部电性连接,所述负极接头与所述负极放电部电性连接。

进一步地,所述清洗室内设有真空度传感器,所述清洗室外壁上设有真空度显示屏,所述真空度传感器与所述真空度显示屏电性连接。

进一步地,所述清洗室包括多个正极放电部和多个负极放电部,多个所述正极放电部与多个所述负极放电部交叉设置,每个所述正极放电部与其相邻的每个所述负极放电部之间设有用于放置所述料盒的容纳腔。

进一步地,所述料盒上设有用于罩住所述湿敏电阻的保护罩。

进一步地,所述保护罩顶部开口设置。

进一步地,所述保护罩上设有若干通孔。

进一步地,本发明的自动监控等离子清洗系统还包括报警装置,所述报警装置与所述输出检测装置电性连接。

本发明的有益效果在于:

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