[发明专利]一种掩膜版金属框传送模块有效
| 申请号： | 202011599253.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112684672B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 钱超;余洋;植启东;黄斌 | 申请（专利权）人： | 南京深光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 肖念 |
| 地址： | 210038 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 金属 传送 模块 | ||
1.一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘(1)，其特征在于，所述掩膜版金属框托盘(1)的两端边缘处均设有多个缺口(2)，所述掩膜版金属框托盘(1)的四角处分别设有第一滑槽(3)，所述第一滑槽(3)内滑动连接有与之相匹配的第一滑块(4)，所述第一滑块(4)上设有托放机构(5)，所述掩膜版金属框托盘(1)的侧边上还设有一对嵌槽(6)，所述嵌槽(6)设置于缺口(2)之间，所述嵌槽(6)内设有稳定机构(7)，所 述掩膜版金属框托盘(1)的侧边固定连接有L形支撑杆(8)，所述L形支撑杆(8)上竖直设有第二滑槽(9)，所述第二滑槽(9)内滑动连接有与之相匹配的第二滑块(10)，所述第二滑块(10)与稳定机构(7)固定连接。
2.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述托放机构(5)包括固定连接于第一滑块(4)上的支撑块(11)，所述支撑块(11)上设有螺纹孔，所述支撑块(11)上设有垫块(12)，所述垫块(12)通过螺栓与螺纹孔来和支撑块(11)固定连接。
3.根据权利要求2所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述垫块(12)为铁氟龙材质。
4.根据权利要求2所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述垫块(12)上设有用于配合螺栓的沉孔，所述螺栓头部通过沉孔嵌入至垫块(12)的上端面下。
5.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述稳定机构(7)包括设置于嵌槽(6)内的活动板(13)，所述活动板(13)的下端面上设置有三组压块(14)，三组所述压块(14)呈门字形分布，边缘处的两组压块(14)与嵌槽(6)的端面为转动连接。
6.根据权利要求5所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述压块(14)为铁氟龙材质。
7.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述第二滑块(10)与第二滑槽(9)为钝性滑动连接。
8.根据权利要求1所述的掩膜版金属框传送模块，其特征在于，所述掩膜版金属框托盘(1)背离第一滑槽(3)的一端固定连接有多块贴片(15)，所述贴片(15)上固定连接有致密橡胶绒毛层(16)。
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