[发明专利]一种掩膜版金属框传送模块

说明书

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，嵌槽设置于缺口之间，嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，第二滑块与稳定机构固定连接。优点在于：本发明可使得掩膜版金属框在进行传输的过程中不直接与输送轨道相接触，并且还可更好的克服运动时的惯性摩擦，从而保证掩膜版金属框的表面规整干净，没有划痕，降低了刮伤的风险。

技术领域

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版金属框传送模块。

背景技术

光掩膜版也叫MASK，IC行业称Reticle，中文称呼还有光罩，铬板。掩膜版主要作为图形信息的载体，通过曝光过程，将图形转移到被曝光产品(硅片，导电玻璃，铜箔等)上，从而实现图形的转移。常见的光掩膜版有三种，铬版、干版，菲林。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略大，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩模为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。

由于掩膜版金属框制作材料硬度低容易造成划伤，导致报废，现有的掩膜版运输采用掩膜版与传动轮直接接触，传动轮转动时与掩膜版摩擦会造成掩膜版刮伤，造成掩膜版平整度不够从而影响后续加工，造成品质问题。传动轮直接与掩膜版接触会对掩膜版造成污染，污染了掩膜版需要重新清洁掩膜版，造成了再作业的浪费，增加了成本。

为此，我们提出一种掩膜版金属框传送模块来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种可防止掩膜版刮伤的掩膜版金属框传送模块。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版金属框传送模块，包括掩膜版金属框托盘，所述掩膜版金属框托盘的两端边缘处均设有多个缺口，所述掩膜版金属框托盘的四角处分别设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，所述第一滑块上设有托放机构，所述掩膜版金属框托盘的侧边上还设有一对嵌槽，所述嵌槽设置于缺口之间，所述嵌槽内设有稳定机构，述掩膜版金属框托盘的侧边固定连接有L形支撑杆，所述L形支撑杆上竖直设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，所述第二滑块与稳定机构固定连接。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述托放机构包括固定连接于第一滑块上的支撑块，所述支撑块上设有螺纹孔，所述支撑块上设有垫块，所述垫块通过螺栓与螺纹孔来和支撑块固定连接。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述垫块为铁氟龙材质。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述垫块上设有用于配合螺栓的沉孔，所述螺栓头部通过沉孔嵌入至垫块的上端面下。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述稳定机构包括设置于嵌槽内的活动板，所述活动板的下端面上设置有三组压块，三组所述压块呈门字形分布，边缘处的两组压块与嵌槽的端面为转动连接。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述压块为铁氟龙材质。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述第二滑块与第二滑槽为钝性滑动连接。

在上述的掩膜版金属框传送模块中，所述掩膜版金属框托盘背离第一滑槽的一端固定连接有多块贴片，所述贴片上固定连接有致密橡胶绒毛层。

与现有的技术相比，本掩膜版金属框传送模块的优点在于：