[发明专利]一种膜厚测量玻璃板支架及方法

权利要求书

1.一种玻璃板支架膜厚测量方法，其特征在于，所述玻璃板支架包括支架框(1)，所述支架框(1)的上端设有多组嵌槽(2)，其中一个所述嵌槽(2)的底部开设有多个螺纹孔(3)，所述螺纹孔(3)贯穿整个支架框(1)，所述螺纹孔(3)内螺纹连接有螺栓(4)；

所述嵌槽(2)有三组，三组所述嵌槽(2)相互平行设置，所述嵌槽(2)之间的间距为0.5-1.5cm；所述嵌槽(2)的深度为0.4cm-1.0cm；

所述膜厚测量方法包括以下步骤：

S1：校准准备，将支架框与设备框架用螺栓进行固定，螺栓拧紧不能晃动，将镀好膜的陪镀片放入至第一个嵌槽内,在顺序第二个嵌槽内放置未镀膜的陪镀片，在第三个嵌槽内放入与前两个陪镀片背面相关颜色的黑墨背景板；

S2：光强测试，打开软件，再点击原始信号，检查光强，转动丝杆进行焦距的调整；

S3：膜厚校准，点击位置一取得样品反射率，点击位置一取得标准反射率，点击位置一取得背景反射率；点击位置一测量后一号通道校准完成，再依次点击其他通道，重复以上动作进行校准；

S4：完成恢复，校准结束，关闭膜厚校正模式，将支架框退出。

2.根据权利要求1所述的玻璃板支架膜厚测量方法，其特征在于，所述设备框架上设置至1-3组支架框。

3.根据权利要求2所述的玻璃板支架膜厚测量方法，其特征在于，多组所述支架框均设置于设备框架的同一侧，另一侧放置金属掩膜版，支架框与金属掩膜版位于同一水平面上。

4.根据权利要求2所述的玻璃板支架膜厚测量方法，其特征在于，多组所述支架框之间等距设置。