[发明专利]一种通用型晶圆传递机构及其传递方法

权利要求书

1.一种通用型晶圆传递机构，其特征在于，包括入货窗口备载区、第一晶圆导片区域、机械手清洗区域、晶圆清洗区域、晶圆干燥区域、第二晶圆导片区域和机械手，其中，所述第一晶圆导片区域的一侧依次设有所述机械手清洗区域、所述晶圆清洗区域、所述晶圆干燥区域和所述第二晶圆导片区域，所述第一晶圆导片区域的一端设有所述入货窗口备载区，所述晶圆清洗区域的上侧设有若干所述机械手，且若干所述机械手均可沿所述晶圆清洗区域的横向方向移动，其中，所述机械手清洗区域与所述晶圆清洗区域连接，所述晶圆清洗区域与所述晶圆干燥区域连接，所述晶圆干燥区域与所述第二晶圆导片区域连接；

其中，所述第一晶圆导片区域包括第一框体，以及设于所述第一框体内的晶圆导片机构，和设于所述晶圆导片机构的一侧的第一晶圆承载传递区，以及设于所述晶圆导片机构的另一侧的第二晶圆承载传递区；

所述第一晶圆承载传递区包括：第一长轴线性机器人、第一承载传递用平台和第一承载传递用衔接平台，所述第一长轴线性机器人设于所述晶圆导片机构的一侧，所述第一承载传递用平台和所述第一承载传递用衔接平台均设于所述第一长轴线性机器人与所述晶圆导片机构之间；

所述第二晶圆承载传递区包括：第二长轴线性机器人、第二承载传递用平台和第二承载传递用衔接平台，所述第二长轴线性机器人设于所述晶圆导片机构的另一侧，所述第二承载传递用平台和所述第二承载传递用衔接平台均设于所述第二长轴线性机器人与所述晶圆导片机构之间。

2.如权利要求1所述的通用型晶圆传递机构，其特征在于，所述晶圆清洗区域包括至少三个相互连接的晶圆清洗区。

3.如权利要求2所述的通用型晶圆传递机构，其特征在于，所述晶圆清洗区域包括三个相互连接的晶圆清洗区，且三个所述晶圆清洗区为依次连接的第一清洗区、第二清洗区和第三清洗区。

4.如权利要求3所述的通用型晶圆传递机构，其特征在于，所述第一清洗区、所述第二清洗区和以及所述第三清洗区内分别设有两个纯净水清洗槽以及设于两所述纯净水清洗槽之间的工艺清洗槽。

5.如权利要求3所述的通用型晶圆传递机构，其特征在于，所述第一清洗区与所述机械手清洗区域连接，所述第三清洗区与所述晶圆干燥区域连接。

6.如权利要求3所述的通用型晶圆传递机构，其特征在于，若干所述机械手包括第一机械手、第二机械手和第三机械手，其中，所述第一清洗区的上侧设有所述第一机械手，所述第二清洗区的上侧设有所述第二机械手，所述第三清洗区的上侧设有所述第三机械手。

7.一种通用型晶圆传递机构的传递方法，其特征在于，包括权利要求1-6任意一项所述的通用型晶圆传递机构，所述传递方法包括：

S1、外界的晶圆夹持机器人将晶圆盒 夹取至所述入货窗口备载区，并由所述入货窗口备载区传递至所述第一晶圆导片区域，所述第一晶圆导片区域对晶圆盒内的晶圆片的进行更换；

S2、第一机械手移动至所述机械手清洗区域经过纯净水清洗后并进入所述第一晶圆导片区域，所述第一机械手 夹持晶圆盒进入所述机械手清洗区域经过纯净水清洗，然后进入第一清洗区，并经过第一清洗区的其中一个纯净水清洗槽进行清洗，然后再进入第一清洗区的工艺清洗槽进行清洗，然后所述第一机械手再将晶圆盒夹取至第一清洗区的另一个纯净水清洗槽内；

S3、第二机械手经过第二清洗区的其中一纯净水清洗槽清洗后进入所述第一清洗区内将晶圆盒夹取至所述第二清洗区的其中一所述纯净水清洗槽清洗，然后所述第二机械手将晶圆盒夹取至第二清洗区的工艺清洗槽进行清洗，然后所述第二机械手再将晶圆盒夹取至所述第二清洗区的另一个纯净水清洗槽内；

S4、第三机械手经过第三清洗区的其中一纯净水清洗槽清洗后进入所述第二清洗区内，所述第三机械手将晶圆盒夹取至所述第三清洗区的其中一所述纯净水清洗槽内进行清洗，然后所述第三机械手将晶圆盒夹取至所述第三清洗区的工艺清洗槽进行清洗，然后所述第三机械手再将晶圆盒夹取至所述第三清洗区的另一个纯净水清洗槽内进行清洗，然后所述第三机械手将晶圆盒夹取至所述晶圆干燥区域进行干燥处理，然后所述第三机械手再将晶圆盒夹取至所述第二晶圆导片区域；

S5、所述第二晶圆导片区域对晶圆盒内的晶圆片进行更换。