[发明专利]控制个别夹具电流的电镀装置

权利要求书

1.一种控制个别夹具电流的电镀装置，其特征在于：

包括：

连续电镀生产线，其使把持基板的夹具沿着一方向恒速连续移动，向第1阳极供电，在所述基板形成电镀层；

分步电镀生产线，其配置于所述连续电镀生产线的后方，具备第2阳极，为所述第2阳极供电，在所述连续电镀生产线进行电镀之后，在被移送的所述基板上形成附加电镀层；

控制部，其调整应用到所述第1阳极和第2阳极的电流值，使形成于所述基板的最终电镀厚度保持均匀，

所述连续电镀生产线在所述基板被移动的状态下实施电镀，

所述分步电镀生产线在所述基板被停止的状态下实施电镀，

所述控制部在所述连续电镀生产线的整个区段，使应用到所述第1阳极的电流值保持恒定，而在所述分步电镀生产线，则使所述连续电镀生产线所移送夹具被停止的状态下，分夹具调整对应于夹具的第2阳极应用的电流值，以使形成于所述基板的最终电镀厚度保持均匀。

2.根据权利要求1所述的控制个别夹具电流的电镀装置，其特征在于：

所述控制部在所述连续电镀生产线和分步电镀生产线的整个区段控制电流，以使通过所述第1阳极和第2阳极应用到个别夹具的最终合计电流值位于预设恒定值以内，

所述控制部在所述连续电镀生产线，合计通过所述第1阳极应用到个别夹具的电流值而计算出中间合计值，而在所述分步电镀生产线，则调整应用到所述第2阳极的电流值并进行控制，以使从所述最终合计电流值减去所述中间合计值的剩余电流值应用到个别夹具中。

3.根据权利要求1所述的控制个别夹具电流的电镀装置，其特征在于：

还包括：夹具移送器具，其将到达所述连续电镀生产线终点处的夹具强行移送到配置有所述分步电镀生产线第2阳极之处，

所述夹具移送器具移送夹具的速度比所述连续电镀生产线移送夹具的速度更快。

4.根据权利要求1所述的控制个别夹具电流的电镀装置，其特征在于：所述分步电镀生产线在配置于所述分步电镀生产线的基板被停止的状态下实施电镀，直到新基板到达所述连续电镀生产线终点处时为止。

5.根据权利要求3所述的控制个别夹具电流的电镀装置，其特征在于：

所述分步电镀生产线沿着一方向形成配置有个别基板的第1个别区域和第2个别区域，

所述第1个别区域和第2个别区域分别配置有第2阳极，

所述夹具移送器具将新基板从所述连续电镀生产线移送到所述第1个别区域时，位于所述第1个别区域的基板随着所述夹具移送器具的移动，被移送到相邻的所述第2个别区域中。