[发明专利]一种晶圆的清洗方法

权利要求书

1.一种晶圆的清洗方法，其特征在于，

使用的装置包括保护机构(1)、固定机构(2)、传送机构(3)、清洗机构(4)，所述保护机构(1)上设置有所述传送机构(3)，所述传送机构(3)上端连接有所述固定机构(2)，所述固定机构(2)上侧设置有所述清洗机构(4)，所述清洗机构(4)之间通过联动机构(5)连接，所述清洗机构(4)、所述传送机构(3)动力端均连接动力机构(6)；

所述保护机构(1)包括循环水箱(11)、固定座(12)、万向轮(13)、清洁箱(14)，所述循环水箱(11)上端设置有所述清洁箱(14)，所述循环水箱(11)内部设置有水槽和循环泵，所述循环水箱(11)下端设置有所述固定座(12)，所述固定座(12)一侧设置有所述万向轮(13)；

所述固定机构(2)包括移动台(21)、固定座(22)、固定盘(23)、配合齿轮(24)，所述移动台(21)上端安装有所述固定座(22)，所述固定座(22)内部设置有被动齿轮(26)，所述被动齿轮(26)一端和所述配合齿轮(24)啮合，所述被动齿轮(26)上连接有所述固定盘(23)，所述固定盘(23)上端安装有五个吸盘(25)，所述固定盘(23)和所述清洁箱(14)之间设置有齿条(27)；

所述传送机构(3)包括传动链轮(31)、链轮轴(32)、传动链条(33)、卡扣连接块(34)，所述链轮轴(32)通过轴承座连接所述循环水箱(11)，所述链轮轴(32)上安装有所述传动链轮(31)，所述传动链轮(31)外部连接有所述传动链条(33)，所述传动链条(33)上安装有所述卡扣连接块(34)；

所述清洗机构(4)包括第一清洗滚筒刷(41)、第二清洗滚筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滚筒(44)，所述第一清洗滚筒刷(41)、所述第二清洗滚筒刷(42)、所述除水刷(43)、所述吸水滚筒(44)均安装在中心轴(45)上，所述中心轴(45)通过轴承座连接所述清洁箱(14)，三个喷水嘴(46)安装在所述清洁箱(14)内侧，所述喷水嘴(46)进水端安装有进水管(47)，所述进水管(47)和所述链轮轴(32)之间设置有按压弹性阀(48)，所述第二清洗滚筒刷(42)和所述除水刷(43)之间设置有高压喷枪(49)；

所述动力机构(6)包括伺服电机(61)、第一链轮组(62)、第二链轮组(63)，所述第二链轮组(63)安装在所述循环水箱(11)内侧，所述伺服电机(61)通过所述第一链轮组(62)连接所述中心轴(45)，所述伺服电机(61)通过所述第二链轮组(63)连接所述链轮轴(32)；

所述方法，包括以下几个步骤：

a、将晶圆放置在固定盘(23)上端，然后利用吸盘(25)对晶圆进行固定，再将移动台(21)放置在传动链条(33)上端，利用卡扣连接块(34)的卡接力将移动台(21)固定；

b、启动伺服电机(61)，使伺服电机(61)带动链轮轴(32)和中心轴(45)转动，在对晶圆进行传送的同时，第一清洗滚筒刷(41)、第二清洗滚筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滚筒(44)开始旋转；

c、经过传动链条(33)的传送，移动台(21)在清洁箱(14)内侧移动，同时固定座(22)接触到按压弹性阀(48)，从而喷水嘴(46)喷出高压清洁剂进行清洁，在两个固定座(22)间隙喷水嘴(46)不喷水；

d、在传送同时，配合齿轮(24)和齿条(27)啮合，从而使得晶圆开始旋转，再经过第一清洗滚筒刷(41)、第二清洗滚筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滚筒(44)的清洗以及三个喷水嘴(46)的清洗，完成晶圆的清洗。

2.根据权利要求1所述的晶圆的清洗方法，其特征在于，所述联动机构(5)包括联动链轮(51)、联动链条(52)，所述联动链轮(51)连接在所述中心轴(45)上，所述联动链轮(51)之间通过所述联动链条(52)连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆的清洗方法，其特征在于，所述联动机构(5)包括主动锥齿轮(511)、被动锥齿轮(512)、蜗杆(513)、蜗轮(514)，所述主动锥齿轮(511)连接在第一个所述中心轴(45)上，所述主动锥齿轮(511)下端和所述被动锥齿轮(512)啮合，所述被动锥齿轮(512)上连接有所述蜗杆(513)，所述蜗杆(513)上啮合有三个所述蜗轮(514)。