[发明专利]一种硅料的清洗方法有效

专利信息
申请号: 202011613503.8 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112808683B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 钱诚;夏振;杨洋 申请(专利权)人: 江苏亚电科技有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 代理人: 陈平
地址: 225300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 方法
【权利要求书】:

1.一种硅料的清洗方法,其特征在于,使用的装置包括驱动机构(3)、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构(4)、机座(6),所述驱动机构(3)位于所述机座(6)上侧,所述升降机构(4)位于所述机座(6)顶部,还包括清洗机构(1)、联动机构(2)和喷淋机构(5),所述清洗机构(1)包括酸洗筒(11)、清洗筒(12)、支撑架(13),所述酸洗筒(11)位于所述机座(6)内侧底部,所述清洗筒(12)位于所述酸洗筒(11)内侧,所述支撑架(13)下端安装在所述清洗筒(12)顶部;所述联动机构(2)包括第一齿轮(21)、第一齿圈(22)、蜗杆(23)、涡轮(24)、第二齿轮(25)、第二齿圈(26)、联动轴(27),所述第一齿圈(22)安装在所述清洗筒(12)上侧,所述第二齿圈(26)安装在所述酸洗筒(11)底侧,所述第一齿圈(22)位于所述第一齿轮(21)一侧,所述蜗杆(23)上端安装在所述第一齿轮(21)中心位置,所述涡轮(24)位于所述蜗杆(23)后侧,所述第二齿轮(25)位于所述第二齿圈(26)下方,所述联动轴(27)两端安装在所述第二齿轮(25)和所述涡轮(24)之间;所述喷淋机构(5)包括隔膜泵(51)、喷淋管(52)、喷头(53)、U型管(54),所述隔膜泵(51)吸液口安装在所述酸洗筒(11)侧面,所述U型管(54)安装在所述隔膜泵(51)出液口,两个所述喷淋管(52)安装在所述U型管(54)上下两端,所述喷头(53)安装在所述喷淋管(52)内侧;所述喷淋管(52)为环形;

包括以下步骤,S1,将需清洗的硅料放入到清洗筒(12)内侧,向酸洗筒(11)内注入酸洗液;

S2,使清洗筒(12)下降,将清洗筒(12)浸没在装有酸洗液的酸洗筒(11)内;

S3,使清洗筒(12)在酸洗筒(11)内进行顺时针转动,而酸洗筒(11)内的酸洗液随着惯性进行逆时针流动,同时利用隔膜泵(51)将酸洗筒(11)内的酸洗液抽送到U型管(54)内,通过U型管(54)来将酸洗液泵送到清洗筒(12)上下两侧的喷淋管(52)内,利用喷淋管(52)上的喷头(53)来将酸洗液喷洒到清洗筒(12)内硅料的上下两侧;

S4,持续清洗一段时间后,清洗筒(12)停止转动并上升离开酸洗筒,清洗结束,取走硅料;

所述升降机构(4)包括固定板(41)、升降电机(42)、丝杠(43),所述固定板(41)位于所述机座(6)内侧且位于所述清洗机构(1)上方,所述升降电机(42)通过螺栓连接在所述机座(6)顶部,所述丝杠(43)上下两端通过轴承连接在所述机座(6)内侧;

或者所述升降机构(4)包括固定板(41)、第一伸缩杆(412)、第二伸缩杆(413),所述固定板(41)位于所述机座(6)内侧且位于所述清洗机构(1)上方,所述第一伸缩杆(412)和所述第二伸缩杆(413)的固定部均通过螺栓连接在所述机座(6)顶部,所述第一伸缩杆(412)和所述第二伸缩杆(413)的伸缩部通过螺纹连接在所述固定板(41)前后两侧,所述第二伸缩杆(413)位于所述第一伸缩杆(412)前侧;

所述驱动机构(3)包括驱动电机(31)、链轮(32)、链条(33),所述驱动电机(31)通过螺栓连接在所述机座(6)上,两个链轮(32)键连接在所述驱动电机(31)转动部和所述联动轴(27)中间位置,所述链条(33)设置在两个所述链轮(32)外侧。

2.根据权利要求1所述的硅料的清洗方法,其特征在于,所述酸洗筒(11)与所述机座(6)通过转动座连接,所述支撑架(13)与所述清洗筒(12)通过焊接连接。

3.根据权利要求1所述的硅料的清洗方法,其特征在于,所述蜗杆(23)中间位置与所述机座(6)通过轴承连接,所述联动轴(27)与所述机座(6)通过轴承连接,所述联动轴(27)与所述第二齿轮(25)键连接。

4.根据权利要求1所述的硅料的清洗方法,其特征在于,所述隔膜泵(51)吸液口与所述酸洗筒(11)通过导管连接,所述喷淋管(52)与所述U型管(54)通过焊接连接,所述喷头(53)与所述喷淋管(52)通过螺纹连接。

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