[发明专利]一种硅料的清洗方法

说明书

本发明公开了一种硅料的清洗方法，使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率，利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

技术领域

本发明涉及硅料清洗技术领域，特别是涉及一种硅料的清洗方法。

背景技术

在生产单晶棒和多晶块时，使用的硅料的纯度须达到99.9999％以上。酸洗的目的主要是去除金属离子和氧化皮，原生多晶主要是在炸料时产生，头尾埚底及碎片主要是在切割时等情况产生；传统的酸洗过程中，硅料与酸液之间流动性较小，使得清洗效率较低，因此所清洗的时间较长，同时酸液有较强的腐蚀性，若是采用搅拌容易造成酸液飞溅出来，很容易造成其他设备的损坏，十分的危险。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种硅料的清洗方法。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种硅料的清洗方法，

使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构，所述清洗机构包括酸洗筒、清洗筒、支撑架，所述酸洗筒位于所述机座内侧底部，所述清洗筒位于所述酸洗筒内侧，所述支撑架下端安装在所述清洗筒顶部；所述联动机构包括第一齿轮、第一齿圈、蜗杆、涡轮、第二齿轮、第二齿圈、联动轴，所述第一齿圈安装在所述清洗筒上侧，所述第二齿圈安装在所述酸洗筒底侧，所述第一齿圈位于所述第一齿轮一侧，所述蜗杆上端安装在所述第一齿轮中心位置，所述涡轮位于所述蜗杆后侧，所述第二齿轮位于所述第二齿圈下方，所述联动轴两端安装在所述第二齿轮和所述涡轮之间；所述喷淋机构包括隔膜泵、喷淋管、喷头、U型管，所述隔膜泵吸液口安装在所述酸洗筒侧面，所述U型管安装在所述隔膜泵出液口，两个所述喷淋管安装在所述U型管上下两端，所述喷头安装在所述喷淋管内侧；

包括以下步骤，

S1，将需清洗的硅料放入到清洗筒内侧，向酸洗筒内注入酸洗液；

S2，使清洗筒下降，将清洗筒浸没在装有酸洗液的酸洗筒内；

S3，使清洗筒在酸洗筒内进行顺时针转动，而酸洗筒内的酸洗液随着惯性进行逆时针流动，同时利用隔膜泵将酸洗筒内的酸洗液抽送到U型管内，通过U型管来将酸洗液泵送到清洗筒上下两侧的喷淋管内，利用喷淋管上的喷头来将酸洗液喷洒到清洗筒内硅料的上下两侧；

S4，持续清洗一段时间后，清洗筒停止转动并上升离开酸洗筒，清洗结束，取走硅料。

优选地，本发明的硅料的清洗方法，所述酸洗筒与所述机座通过转动座连接，所述支撑架与所述清洗筒通过焊接连接。

优选地，本发明的硅料的清洗方法，所述驱动机构包括驱动电机、链轮、链条，所述驱动电机通过螺栓连接在所述机座上，两个链轮键连接在所述驱动电机转动部和所述联动轴中间位置，所述链条设置在两个所述链轮外侧。

优选地，本发明的硅料的清洗方法，所述升降机构包括固定板、升降电机、丝杠，所述固定板位于所述机座内侧且位于所述清洗机构上方，所述升降电机通过螺栓连接在所述机座顶部，所述丝杠上下两端通过轴承连接在所述机座内侧。