[发明专利]一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极在审
| 申请号： | 202011614982.5 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112652509A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李文亮;周博文;侯瑞;张鹏蛟;张鸿;孙安;李俊周 | 申请（专利权）人： | 南京大学;南京质子源工程技术研究院有限公司;江苏安德信超导加速器科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/40 | 分类号： | H01J3/40;H01J3/04 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 顾翰林 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 65 kev 双等离子体离子源 质子 引出 电极 | ||
1.一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，其特征在于：包括从前至后依次设置的阳极(22)、前隔套(19)、抑制电极(9)、后隔套(17)、地电极(13)和法兰盘(14)；
抑制电极(9)包括从后至前依次衔接的第一环形部(1)、第一锥筒部(5)和第二锥筒部(6)，第二锥筒部(6)前端设置通孔(7)；地电极(13)包括从后至前依次衔接的环形部(10)、锥筒部a(11)和锥筒部b(12)，锥筒部b(12)前端也设置通孔(7)；
地电极(13)的锥筒部b(12)前端伸入抑制电极(9)的第二锥筒部(6)内，锥筒部b(12)与第二锥筒部(6)相间隔，第一锥筒部(5)与锥筒部a(11)均设有通气孔(8)；
前隔套(19)与后隔套(17)均为陶瓷隔套；
法兰盘(14)设有中心孔(21)，法兰盘(14)的中心孔(21)、地电极(13)内腔、后隔套(17)内腔、抑制电极(9)内腔和前隔套(19)内腔相互连通且五者构成的腔室为真空腔。
2.如权利要求1所述的一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，其特征在于：阳极(22)包括阳极安装板(20)，阳极安装板(20)、前隔套(19)、抑制电极(9)的第一环形部(1)、后隔套(17)、地电极(13)的环形部(10)和法兰盘(14)依次接触。
3.如权利要求1所述的一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，其特征在于：前隔套(19)与抑制电极(9)的第一环形部(1)之间、抑制电极(9)的第一环形部(1)与后隔套(17)之间、后隔套(17)与地电极(13)的环形部(10)之间以及地电极(13)的环形部(10)与法兰盘(14)之间均设有密封圈(15)。
4.如权利要求1所述的一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，其特征在于：阳极(22)加一个外接的65KV的电源，抑制电极(9)加一个外接的-5KV的电源，地电极(13)连接地线。
5.如权利要求2所述的一种用于65KeV双等离子体离子源质子引出的引出电极，其特征在于：阳极安装板(20)与法兰盘(14)之间通过陶瓷螺栓(16)固定连接。
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