[发明专利]基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪及其工作方法

权利要求书

1.基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，所述基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪包括炬管、采样锥和真空腔；其特征在于，所述基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪还包括：

腔室，所述腔室具有侧门以及位置相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁分别具有导轨，所述导轨具有限位件；所述炬管竖直地设置在所述腔室内；

散热模块，所述散热模块上固定所述采样锥，所述炬管处于所述采样锥的下侧；

承载件，所述承载件的相对的两侧处于所述导轨上，所述散热模块设置在所述承载件上；所述承载件的上侧与所述真空腔连接并密封；所述导轨的延伸方向与所述采样锥的中心轴线垂直；

滑动件，所述滑动件的两端处于所述导轨上，所述承载件可转动地固定在所述滑动件上，转轴垂直于所述滑动件。

2.根据权利要求1所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括：

支撑件，所述支撑件分别设置在每一导轨底壁的二个凹槽内，并延伸到所述腔室外；处于所述凹槽内的支撑件不高于所述导轨底壁；

导向机构，所述第一侧壁和第二侧壁分别具有导向机构，所述支撑件在所述导向机构内上下移动；

驱动机构，所述驱动结构用于驱动所述腔室外的支撑件在所述导向机构内上下移动，使得所述腔室内的支撑件支撑所述承载件上下平移。

3.根据权利要求2所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述导向机构采用竖直，第一侧壁和第二侧壁分别具有二个竖直方向延伸的竖直，二个竖直的顶壁高度一致；所述支撑件穿过所述竖直。

4.根据权利要求3所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，处于二个凹槽的支撑件的延伸到所述腔室外的部分连接。

5.根据权利要求4所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述驱动机构包括：

转动臂，所述转动臂绕在转动轴旋转，所述转动轴分别固定在所述第一侧壁和第二侧壁；所述转动臂的中部支撑处于所述腔室外的支撑件；

动力单元，所述动力单元驱动所述转动臂绕着转动轴正向和反向转动。

6.根据权利要求1所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述散热模块采用水冷模块，临着所述炬管的侧面具有沿着径向分布的凹槽。

7.根据权利要求1所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述第一侧壁具有第一气体出口，所述的第二侧壁具有第二气体出口，所述第一气体出口的中心轴线和第二气体出口的中心轴线共线，且穿过所述炬管的线圈。

8.根据权利要求1所述的基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪的工作方法，所述工作方法为：

所述承载件和真空腔分离，并下移到所述导轨上；打开所述侧门；

向外拉出承载件，所述滑动件和承载件在所述导轨上滑动，将所述散热模块拉到所述腔室外；

旋转所述承载件，所述采样锥翻转。

9.根据权利要求8所述的工作方法，其特征在于，所述分离的方式为：

驱动机构工作，在所述腔室内支撑所述承载件的支撑件下移，所述承载件下移并被导轨支撑，所述腔室内的支撑件下移到所述导轨底壁的凹槽内，并低于导轨的底壁。

10.根据权利要求9所述的工作方法，其特征在于，所述驱动机构的工作方式为：

动力单元驱动第一侧壁和第二侧壁外的旋转臂向下转动，被所述转动臂支撑的处于所述腔室外的支撑件在导向机构内下移，处于所述腔室内的支撑件随之下移。