[发明专利]一种用乙醛前驱体制备热解碳的方法有效
| 申请号： | 202011617339.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112661134B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 李贺军;汪体园;张守阳;任碧云;李伟;彭景雅;李棚辉 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C01B32/05 | 分类号： | C01B32/05 |
| 代理公司： | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 乙醛 前驱 体制 备热解碳 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用乙醛前驱体制备热解碳的方法，基底为硅片、石英玻璃片、碳纤维预制体或低密度C/C复合材料，其特征在于：以乙醛有机溶液为前驱体，采用氮气作为载气和稀释气，制备步骤如下：
步骤1：将乙醛有机溶液倒入封闭金属容器中，通过鼓泡法使得乙醛有机溶液变为蒸气能够参与反应；
步骤2：采用化学气相渗透工艺，将基底放置于沉积炉的反应器中，并排空沉积炉内的空气；然后将温度由室温升至900℃～1200℃，升温速率为小于20℃/min；以步骤1的乙醛有机溶液为前驱体，控制乙醛气体流量为80～200sccm，在900℃～1200℃温度范围内，沉积到设定时间；随后将温度由900℃～1200℃逐渐降至200℃，关闭电源，自然冷却后取出；
整个沉积过程是在常压下进行并且一直通入氮气进行保护。
2.根据权利要求1所述用乙醛前驱体制备热解碳的方法，其特征在于：所述乙醛的纯度为40％。
3.根据权利要求1所述用乙醛前驱体制备热解碳的方法，其特征在于：所述氮气的体积分数为99.99％。
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