[发明专利]一种分离提纯六氯乙硅烷的系统和方法

权利要求书

1.一种分离提纯六氯乙硅烷的系统，其特征在于，包括：汽化器(1)、精馏塔一(2)、轻组分储罐(3)、精馏塔二(4)、六氯乙硅烷储罐(5)、冷凝器一(6)和冷凝器二(7)；

其中，所述汽化器(1)的气体出口与所述精馏塔一(2)的入口连通；所述精馏塔一(2)的顶端出口与所述六氯乙硅烷储罐(5)的入口连通；所述精馏塔一(2)的底端出口与所述精馏塔二(4)的入口连通；所述精馏塔二(4)的顶端出口与所述六氯乙硅烷储罐(5)的入口连通；所述精馏塔二(4)的底端出口与所述汽化器(1)的液体入口连通；

所述冷凝器一(6)固定在所述精馏塔一(2)顶端并与之连通；所述冷凝器二(7)固定在所述精馏塔二(4)顶端并与之连通。

2.根据权利要求1所述的一种分离提纯六氯乙硅烷的系统，其特征在于，所述精馏塔一(2)和所述精馏塔二(4)的底部固定有夹套，以进行加热；且所述精馏塔一(2)和所述精馏塔二(4)表面包覆有保温层。

3.根据权利要求2所述的一种分离提纯六氯乙硅烷的系统，其特征在于，所述冷凝器一(6)和所述冷凝器二(7)均为列管式换热器，其中设置有液位检测装置。

4.一种分离提纯六氯乙硅烷的方法，其特征在于，以权利要求3所述的分离提纯六氯乙硅烷的系统进行制备，过程如下：

1)将氢化残液加入到所述汽化器(1)中进行汽化，顶端初步分离六氯乙硅烷和其他轻组分的混合物，进入到所述精馏塔一(2)中，未气化的组分由所述汽化器(1)底端排出；

2)控制所述精馏塔一(2)中的工作压力为0.1-2.0Mpa，工作温度为0-300℃，冷凝器一入口温度为0-200℃，出口温度为0-200℃，此时，轻组分三氯氢硅、四氯化硅在塔顶冷凝回流并储存到所述轻组分储罐(3)中；重组分进入到所述精馏塔二(4)中继续进行提纯分离；

3)控制所述精馏塔二(4)的塔釜温度为60-300℃，塔顶温度为60-300℃，压力为0.1-2.0Mpa，所述冷凝器二(7)入口温度控制在0-200℃，出口温度控制在0-200℃，此时，六氯乙硅烷从塔的顶部冷凝回流进入到所述六氯乙硅烷储罐(5)中，重组分于塔釜循环至所述汽化器(1)中，塔顶馏出其他轻组分。