[发明专利]位置偏离检测方法及装置、位置异常判定及搬送控制方法

权利要求书

1.一种基板的位置偏离检测方法，包括以下步骤：

获取在第一高度位置处被吸附于载置台的所述基板的第一图像信息或第一位置信息；

在解除了对所述基板的吸附的状态下将所述基板从所述载置台交接至保持部，并使所述保持部将所述基板保持在所述第一高度位置；

获取被保持于所述第一高度位置的所述基板的第二图像信息或第二位置信息；以及

将所述第一图像信息与所述第二图像信息进行比较、或者将所述第一位置信息与所述第二位置信息进行比较，来检测所述基板的位置偏离。

2.根据权利要求1所述的基板的位置偏离检测方法，其特征在于，

还包括以下步骤：使载置有所述基板的所述载置台上升并移动到所述第一高度位置，

获取所述基板的第一图像信息或第一位置信息的步骤是获取被载置且吸附于移动到了所述第一高度位置的所述载置台的所述基板的第一图像信息或第一位置信息的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的基板的位置偏离检测方法，其特征在于，

在解除了对所述基板的吸附的状态下将所述基板从所述载置台交接至保持部并使所述保持部将所述基板保持在所述第一高度位置的步骤是在解除了对所述基板的吸附的状态下使所述载置台下降至比所述第一高度位置低的第二高度位置并使所述保持部将所述基板保持在所述第一高度位置的步骤。

4.一种基板位置的异常判定方法，包括：

根据权利要求1至3中的任一项所述的基板的位置偏离检测方法；以及

基于所述基板的位置偏离来判定所述基板的位置是否为异常的步骤。

5.根据权利要求4所述的基板位置的异常判定方法，其特征在于，还包括以下步骤：

当在判定所述基板的位置是否为异常的步骤中判定为所述基板的位置为异常时，判定所述基板的位置是否能够校正；以及

当在判定所述基板的位置是否能够校正的步骤中判定为不能够校正时，通知异常。

6.一种基板搬送控制方法，包括：

根据权利要求4或5所述的基板位置的异常判定方法；

在判定所述基板的位置是否能够校正的步骤中判定为能够校正时使搬送机构接受被所述保持部保持的所述基板的步骤；

使校正装置校正被所述搬送机构接受的所述基板的位置偏离的步骤；以及

使所述搬送机构将被校正了所述位置偏离的基板收纳在收纳部中的步骤。

7.一种基板搬送控制方法，包括：

根据权利要求4或5所述的基板位置的异常判定方法；

在判定所述基板的位置是否为异常的步骤中判定为所述基板的位置不为异常时使搬送机构接受被所述保持部保持的所述基板的步骤；以及

使收纳部收纳被所述搬送机构接受的所述基板的步骤。

8.一种基板的位置偏离检测方法，包括以下步骤：

获取在第一高度位置处被吸附于载置台的所述基板的第一图像信息或第一位置信息；

在解除了对所述基板的吸附的状态下将所述基板从所述载置台交接至保持部，并使保持部保持所述基板；

使搬送机构接受被保持的所述基板；

获取使所述搬送机构保持在所述第一高度位置的所述基板的第二图像信息或第二位置信息；

将所述第一图像信息与所述第二图像信息进行比较、或者将所述第一位置信息与所述第二位置信息进行比较，来检测所述基板的位置偏离。

9.根据权利要求8所述的基板的位置偏离检测方法，其特征在于，

还包括以下步骤：使载置有所述基板的所述载置台上升并移动到所述第一高度位置，

获取所述基板的第一图像信息或第一位置信息的步骤是获取被载置且吸附于移动到了所述第一高度位置的所述载置台的所述基板的第一图像信息或第一位置信息的步骤。