[发明专利]一种半导体加工用清洗装置在审
| 申请号： | 202011620408.0 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112827930A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 孙晓东 | 申请（专利权）人： | 上海讯颖电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/04;B08B3/14;B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 202150 上海市崇明区长兴镇潘园公*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 工用 清洗 装置 | ||
1.一种半导体加工用清洗装置，包括底座(1)、烘干箱(2)和固定盒(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶部安装有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)的一侧安装有出风口(201)，所述烘干箱(2)的另一侧安装有固定盒(3)，且固定盒(3)的一侧贯穿烘干箱(2)的内壁，所述底座(1)的顶部安装有固定杆(4)，所述固定杆(4)的顶部安装有连接杆(401)，所述连接杆(401)的一侧安装有安装架(5)，所述安装架(5)的内部安装有第一电机(501)，所述第一电机(501)的输出端安装有第一旋转轴(502)，所述第一旋转轴(502)的一端安装有清洗仓(6)，所述清洗仓(6)的一侧安装有第二旋转轴(7)，所述第二旋转轴(7)的一端安装有安装板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗装置，其特征在于：所述底座(1)的底部安装有弹簧座(101)，底座(1)的底部安装有连接件(102)，且连接件(102)位于弹簧座(101)一侧，连接件(102)的内侧安装有移动轮(103)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗装置，其特征在于：所述固定盒(3)的内部通过支杆(302)安装有马达(303)，马达(303)的输出端安装有转动轴(304)，转动轴(304)的一端安装有风扇(305)，固定盒(3)的一侧安装有进风口(301)，固定盒(3)的内部安装有加热层(306)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗装置，其特征在于：所述清洗仓(6)的内壁上安装有防护层(601)，清洗仓(6)的底部安装有出液口(602)，出液口(602)的内部安装有过滤网(603)，清洗仓(6)的底部安装有出料口(604)且出料口(604)位于出液口(602)的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗装置，其特征在于：所述第二旋转轴(7)的一端安装有第二电机(702)，第二电机(702)的外部安装有固定架(701)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗装置，其特征在于：所述安装板(8)的一侧安装有毛刷杆(801)，毛刷杆(801)的外侧安装有毛刷本体(802)。
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