[发明专利]一种半导体加工用清洗装置在审

专利信息
申请号: 202011620408.0 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112827930A 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 孙晓东 申请(专利权)人: 上海讯颖电子科技有限公司
主分类号: B08B3/10 分类号: B08B3/10;B08B3/04;B08B3/14;B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00
代理公司: 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 代理人: 张静
地址: 202150 上海市崇明区长兴镇潘园公*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 工用 清洗 装置
【说明书】:

发明公开了一种半导体加工用清洗装置,包括底座、烘干箱和固定盒,所述底座的顶部安装有烘干箱,所述烘干箱的一侧安装有出风口,所述烘干箱的另一侧安装有固定盒,且固定盒的一侧贯穿烘干箱的内壁,所述底座的顶部安装有固定杆,所述固定杆的顶部安装有连接杆,所述连接杆的一侧安装有安装架,所述安装架的内部安装有第一电机,所述第一电机的输出端安装有第一旋转轴,所述第一旋转轴的一端安装有清洗仓,所述清洗仓的一侧安装有第二旋转轴,所述第二旋转轴的一端安装有安装板。本发明通过在底座的顶部安装有烘干装置,可以使烘干箱内的半导体进行烘干,从而可以使半导体可以更加快速的将水分烘干,从而可以提高工作效率。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域,具体为一种半导体加工用清洗装置。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质,其电导率容易受控制,可作为信息处理的元件材料,从科技或是经济发展的角度来看,半导体非常重要,很多电子产品,如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。

现有的半导体加工存在的缺陷是:

1、传统的半导体加工清洗装置在清洗半导体时,清洗不彻底还会残留大量的污垢,而且清洗时间也非常缓慢。

2、传统的半导体加工没有安装烘干装置,清洗完之后半导体需要用太长的时间进行晾干,会导致工作的效率下降。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体加工用清洗装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种半导体加工用清洗装置,包括底座、烘干箱和固定盒,所述底座的顶部安装有烘干箱,所述烘干箱的一侧安装有出风口,所述烘干箱的另一侧安装有固定盒,且固定盒的一侧贯穿烘干箱的内壁,所述底座的顶部安装有固定杆,所述固定杆的顶部安装有连接杆,所述连接杆的一侧安装有安装架,所述安装架的内部安装有第一电机,所述第一电机的输出端安装有第一旋转轴,所述第一旋转轴的一端安装有清洗仓,所述清洗仓的一侧安装有第二旋转轴,所述第二旋转轴的一端安装有安装板。

优选的,所述底座的底部安装有弹簧座,底座的底部安装有连接件,且连接件位于弹簧座一侧,连接件的内侧安装有移动轮。

优选的,所述固定盒的内部通过支杆安装有马达,马达的输出端安装有转动轴,转动轴的一端安装有风扇,固定盒的一侧安装有进风口,固定盒的内部安装有加热层。

优选的,所述清洗仓的内壁上安装有防护层,清洗仓的底部安装有出液口,出液口的内部安装有过滤网,清洗仓的底部安装有出料口且出料口位于出液口的一侧。

优选的,所述第二旋转轴的一端安装有第二电机,第二电机的外部安装有固定架。

优选的,所述安装板的一侧安装有毛刷杆,毛刷杆的外侧安装有毛刷本体。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:

1、本发明通过在清洗仓的内部安装有搅拌装置,通过搅拌装置中的第二电机带动毛刷杆转动,通过毛刷杆的转动从而可以使毛刷进行转动,通过毛刷的在清洗仓内转动,可以充分的将清洗仓内部的半导体进行清洗,可以使半导体可以清洗的更加干净,通过第二电机带动清洗仓进行转动,搅拌装置和清洗仓为相反的方向转动,从而可以使半导体清洗的更加快速,从而提高工作效率,使清洗的更加快速。

2、本发明通过在底座的顶部安装有烘干装置,通过烘干装置中的马达带动,风扇进行旋转,通过风扇的旋转,从而可以使外部的风进入烘干装置中,风会经过加热层,通过加热层将风进行加热,风扇再将加热的风吹入烘干箱中,从而可以使烘干箱内的半导体进行烘干,从而可以使半导体可以更加快速的将水分烘干从而可以提高工作效率。

附图说明

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