[发明专利]一种真空镀膜加工装置

权利要求书

1.一种真空镀膜加工装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）的上面设有壳体（3）和冷却系统（7），所述冷却系统（7）设置在所述壳体（3）的左侧，所述底座（1）内设有真空泵（2），所述真空泵（2）的上端和所述壳体（3）的内部贯通，所述壳体（3）的顶部设有升降机构（5），所述升降机构（5）的下端伸入所述壳体（3）内，所述升降机构（5）能够带着石英晶体上下移动，所述壳体（3）的内部设有镀膜装置和防护装置，所述镀膜装置包括激光发射装置和覆膜装置，所述激光发射装置外接激光发射器，所述防护装置设置在所述底座（1）的内腔（11）底部，所述激光发射装置安装在所述底座（1）的右侧壁上，所述覆膜装置位于所述防护装置内，所述升降机构（5）包括可上下移动的连接板（52），所述连接板（52）上安装有可转动的旋转板（54），所述旋转板（54）的下面设有加热板（55），所述加热板（55）的下面通过若干个基板座（56）连接有基板（561），所述基板（561）用于放置石英晶体。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述激光发射装置包括反射镜（42）和聚焦镜（43），所述反射镜（42）和所述聚焦镜（43）均安装在所述壳体（3）的右侧壁上，所述反射镜（42）位于所述聚焦镜（43）的右上方，所述激光发射器发出激光束（4），通过所述反射镜（42）和所述聚焦镜（43）照射在所述覆膜装置上。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述覆膜装置包括坩埚（45），所述坩埚（45）通过坩埚座（44）设置在所述壳体（3）的底部，且所述坩埚（45）位于所述防护装置的安装座（6）内，所述坩埚（45）内存放有金属液（46），所述激光束（4）照射所述金属液（46）能够使得所述金属液（46）蒸发，所述金属液（46）内的金属离子上升，从而覆在所述石英晶体的表面，形成一层膜。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述防护装置还包括保护罩（62），所述保护罩（62）通过若干个螺钉（61）安装在所述安装座（6）的上面，所述保护罩（62）的前面设有门（622），所述门（622）上设有把手（623）。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述冷却系统（7）包括冷却箱（72），所述冷却箱（72）安装在所述壳体（3）的左侧，所述冷却箱（72）的左侧安装有冷凝器（73），所述冷凝器（73）的上端连接有冷凝管（74），所述冷凝管（74）的上端穿过所述冷却箱（72）的左侧壁的上端并伸入所述冷却箱（72）内，且所述冷凝管（74）的下端从所述冷却箱（72）的左侧壁的下端穿出并连接在所述冷凝器（73）的下端。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述冷却箱（72）内设有冷却液（75），所述冷凝管（74）位于所述冷却箱（72）内的部分浸在所述冷却液（75）中，且所述冷凝管（74）位于所述冷却箱（72）内的部分呈S形设置。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜加工装置，其特征在于，所述冷却系统（7）还包括气泵（71）和排气管（76），所述气泵（71）安装在所述底座（1）内且位于所述底座（1）的左端，所述气泵（71）上设有第二出气管（711），所述第二出气管（711）伸入所述冷却箱（72）内，所述排气管（76）贯通连接在所述冷却箱（72）的上端，所述排气管（76）的端部设有接头（77），通过所述接头（77）使得所述排气管（76）和所述壳体（3）的冷却槽（31）相贯通，所述冷却槽（31）开设在所述壳体（3）的左侧壁上，所述冷却槽（31）的右侧开设有若干个排气口（32），若干个排气口（32）均和所述壳体（3）的内部贯通。